序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	苏州翌流明光电科技有限公司	3780.10	10.80	不变	0.00
2	国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)	2655.76	7.58	减少	-70.96
3	深圳小纳光实验室投资企业(有限合伙)	1885.59	5.38	不变	0.00
4	哈承姝	1664.39	4.75	不变	0.00
5	中国科学院微电子研究所	960.41	2.74	不变	0.00
6	中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金	780.37	2.23	增加	148.68
7	中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金	683.10	1.95	新进	683.10
8	香港中央结算有限公司	648.55	1.85	新进	648.55
9	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	500.98	1.43	新进	500.98
10	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	463.94	1.32	新进	463.94