| 流通市值：101.23亿 | 总市值：101.23亿 | ||
| 流通股本：3.86亿 | 总股本：3.86亿 |
| 截至日期 | 股东户数 | 户均持股(股) | 较上期变化(%) |
| 2026-03-31 | 46116 | 8362.33 | -5.43 |
| 2025-12-31 | 48763 | 7908.40 | -3.27 |
| 2025-09-30 | 50409 | 7650.17 | -2.18 |
| 2025-06-30 | 51532 | 7483.45 | -20.31 |
| 2025-03-31 | 64663 | 5963.80 | 33.94 |
| 2025-02-28 | 48276 | 7988.18 | -3.57 |
| 2024-12-31 | 50061 | 7703.35 | 14.73 |
| 2024-09-30 | 43632 | 8838.40 | -12.96 |
| 2024-06-30 | 50129 | 7692.90 | 18.83 |
| 2024-03-31 | 42185 | 9141.57 | -3.81 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总流通股本 持股比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 淄博星恒途松控股有限公司 | 9238.23 | 23.96 | 不变 | 0.00 |
| 殷福华 | 5256.82 | 13.63 | 不变 | 0.00 |
| 季文庆 | 880.01 | 2.28 | 不变 | 0.00 |
| 镇江市杰华投资有限公司 | 645.46 | 1.67 | 不变 | 0.00 |
| 香港中央结算有限公司 | 592.68 | 1.54 | 新进 | 592.68 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备... | 527.51 | 1.37 | 增加 | 261.36 |
| 唐艳 | 301.73 | 0.78 | 增加 | 0.01 |
| 陈永勤 | 275.73 | 0.72 | 增加 | 24.93 |
| UBS AG | 217.86 | 0.56 | 新进 | 217.86 |
| 黄建东 | 135.50 | 0.35 | 新进 | 135.50 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总股本持股 比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 淄博星恒途松控股有限公司 | 9238.23 | 23.96 | 不变 | 0.00 |
| 殷福华 | 5256.82 | 13.63 | 不变 | 0.00 |
| 季文庆 | 880.01 | 2.28 | 不变 | 0.00 |
| 镇江市杰华投资有限公司 | 645.46 | 1.67 | 不变 | 0.00 |
| 香港中央结算有限公司 | 592.68 | 1.54 | 新进 | 592.68 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备... | 527.51 | 1.37 | 增加 | 261.36 |
| 唐艳 | 301.73 | 0.78 | 增加 | 0.01 |
| 陈永勤 | 275.73 | 0.71 | 增加 | 24.93 |
| UBS AG | 217.86 | 0.56 | 新进 | 217.86 |
| 黄建东 | 135.50 | 0.35 | 新进 | 135.50 |
| 股东名称 | 解禁数量 (股) |
上市日 | 实际解禁数量 (股) |
| 淄博星恒途松控股有限公司 | 54444161 | 2024-05-29 | 54444161 |
| 孙琪伟 | 2757576 | 2021-05-26 | 2757576 |
| 湖南轻盐创业投资管理公司-轻盐智选4号私募证券投资基金 | 1693939 | 2021-05-26 | 1693939 |
| 珠海市孚悦中诚资产管理有限公司-悦诚同心共享9号私募证券投资基金 | 1378787 | 2021-05-26 | 1378787 |
| 江阴毅达高新股权投资合伙企业(有限合伙) | 1181817 | 2021-05-26 | 1181817 |
| 珠海市孚悦中诚资产管理有限公司-悦诚同心共享10号私募证券投资基金 | 787878 | 2021-05-26 | 787878 |
| 珠海市孚悦中诚资产管理有限公司-悦诚同心共享8号私募证券投资基金 | 787878 | 2021-05-26 | 787878 |
| 睿远基金管理有限公司 | 787878 | 2021-05-26 | 787878 |
| 姓名 | 职务 | 变动数量 (股) |
变动后持股 数(股) |
变动原因 | 变动日期 |
| 殷福华 | 非独立董事,董事长,总经理 | -11569044 | 52568237 | 二级市场减持 | 2025-12-31 |
| 姚玮 | 非独立董事,副总经理 | -47400 | 142262 | 二级市场减持 | 2025-12-31 |
| 殷福华 | 非独立董事,核心技术人员,总经理,董事长 | -764600 | 52568237 | 二级市场买卖 | 2025-12-24 |
| 殷福华 | 非独立董事,董事长,总经理 | -764600 | 52568237 | 二级市场买卖 | 2025-12-24 |
| 殷福华 | 非独立董事,核心技术人员,总经理,董事长 | -163600 | 53332837 | 二级市场买卖 | 2025-12-23 |