微导纳米(688147) 平安观点： ALD设备龙头企业，光伏、半导体业务共同成长。公司成立于2015年，核心业务为先进微纳米薄膜沉积设备的研发与应用，主要产品ALD设备可广泛应用于下游光伏、半导体、柔性电子等领域，2022年12月公司在科创板上市。业绩方面，2018-2022年，公司营收从0.42亿元增长到6.85亿元，年复合增长率为101.0%，2023年上半年，公司营收为3.82亿元，同比增长145.5%，公司业绩增长势头迅猛。此外，公司IPO募投项目预计将新增年产120台光伏、柔性电子领域的ALD设备以及年产40套半导体ALD设备的产能，助力公司业绩持续快速增长。 ALD设备性能优异，国产替代空间广阔。ALD通过脉冲前驱体化学气相反应实现单原子层级薄膜沉积，具备精确的膜厚控制能力以及优秀的台阶覆盖率，在光伏、半导体制造工艺中有广泛应用。光伏领域，国产ALD厂商已基本实现国产替代并在国际竞争中占据优势；半导体领域，目前ALD设备国产化率极低，国内市场主要被ASM、TEL等国外厂商占据，国产替代空间广阔。 受益N型电池扩产，公司光伏业务有望持续高增。N型电池加速扩产，TOPCon、HJT等路线需求明确，薄膜沉积设备在TOPCon、HJT等路线价值占比较高，上游光伏设备公司深度受益。公司率先将ALD设备规模化应用于国内光伏电池产线中，拥有ALD、PECVD、扩散退火炉以及TOPCon电池工艺整线等丰富的产品组合，稳居国内领先地位，且公司光伏镀膜产品在产能、均匀性、碎片率等指标上也颇具竞争优势，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，得到了客户的广泛认可。随着新一代太阳能电池技术扩产节奏逐渐进入白热化阶段，对光伏ALD设备的需求旺盛，公司光伏业务将持续受益。 半导体先进技术蓬勃发展，叠加国产化替代需求，公司半导体ALD设备有望加速放量。半导体先进技术如HKMG、多重曝光、先进DRAM、高堆叠层数3DNAND等对半导体ALD设备产生了的可观的需求，市场规模稳步增长，且目前美国对华制裁不断加剧，国产化替代主线坚挺，在先进技术快速发展及国产化替代趋势的背景下，国内ALD设备厂商深度受益。公司半导体ALD产品产业化进程迅速，已率先将High-k栅氧薄膜工艺应用于逻辑28nm制程，并获得客户重复订单，同时公司后续推出的应用于逻辑芯片、传统和新型存储芯片、CMOS芯片、MEMS等领域的多款ALD设备也陆续取得客户订单，未来半导体业务板块将成为公司业绩提升的重要发力点。 在手订单充裕，业绩增长确定性强。截止2023年中，公司在手订单共计62.53亿元，其中光伏设备订单56.21亿元，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8461万元，公司在手订单充裕，且增速迅猛，后劲十足，未来业绩快速增长的确定性强。 投资建议：公司是国内ALD设备龙头，CVD设备也在积极布局，产品可广泛应用于光伏、半导体、柔性电子等领域，产品性能卓越，客户资源优质，近年业绩快速增长。光伏业务方面，公司在手订单充沛，新技术布局丰富，未来有望持续受益于光伏电池片的扩产；半导体业务方面，公司技术与产业化能力在国内较为稀缺，产品在逻辑、存储等诸多领域均取得客户订单，未来有望持续受益国产化替代浪潮。我们预计公司2023-2025年EPS分别为0.30元、0.79元和1.13元，对应9月14日收盘价的PE分别为149.4X、56.5X、39.6X。公司产品类别丰富，技术竞争力强，我们持续看好公司的发展，首次覆盖，给予“推荐”评级。 风险提示：1、技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要。2、下游需求可能存在波动的风险。公司产品主要应用于半导体和光伏行业，如果半导体产业周期性波动或光伏产业扩产节奏放缓导致对设备的需求降低，可能对公司的经营业绩产生不利影响。3、国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。

微导纳米(688147) 投资要点 事件：公司发布2023年半年报。 中报营收利润高速增长，23Q2利润率大幅提升 23H1公司实现营业收入3.82亿，同比增长146%；归母净利润6858万，同比扭亏为盈（去年同期亏损3925万）；扣非归母净利润4550万，同比扭亏为盈（去年同期亏损4931万）。23Q2公司实现营收3.06亿，同比增长1204%，环比增长304%；归母净利润6966万，同比扭亏为盈（去年同期亏损4186万）；扣非归母净利润4805万。2023H1光伏设备实现收入3.3亿，同比增长135%，半导体设备实现收入1667万元，同比增长251%。利润端看，公司23H1毛利率、净利率分别为43.0%、17.9%，较22年分别增长0.7、10pct，净利率实现大幅提升。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期 受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，公司半导体和光伏新签订单实现高增长。截至23H1，公司在手专用设备订单约62.53亿，其中光伏设备订单56.21亿，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8461万。根据公司年报披露，22年末公司在手订单22.93亿元，其中光伏设备19.67亿，半导体设备2.57亿，其他设备6881万。我们测算，上半年公司光伏设备新增订单约40亿，半导体设备新增订单约3亿。 半导体设备：品类扩张+国产化率提升双驱动，业务弹性大 公司形成了ALD技术为核心，CVD等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括ALD、PECVD、LPCVD等。TALD设备适用于High-k栅氧层、MIM电容器绝缘层、TSV介质层及金属化等薄膜工艺需求，已实现产业化应用。批量式原子层沉积镀膜系统实现首台产业化应用，该设备可一次处理25片12英寸晶圆，进一步扩宽公司工艺应用覆盖面。PECVD设备可沉积SiO2、SiN、Lok等薄膜，LPCVD设备可沉积SiGe、p-Si、dopeda-Si、SiO2、SiN等薄膜。目前CVD设备已获得客户订单，设备验证进展顺利。 光伏设备：持续丰富产品线，TOPCon整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展 公司持续丰富光伏产品线，率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产线，开发了行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线并推出二代工艺。新一代电池方面，公司应用于BC电池的ALD设备已出货隆基、爱旭，钙钛矿/异质结叠层电池设备已开发实现，未来新型电池设备有望接力发展。 盈利预测：预计2023-2025年营收为14.0、33.8、44.9亿元，同比增长105%、141%、33%，归母净利润1.19、3.63、5.13亿元，同比增长119%、206%、41%，对应PE为184、60、42倍。维持“增持”评级。 风险提示：新品验证不及预期风险、市场竞争加剧的风险、半导体管制风险。

微导纳米(688147) 事件概况 微导纳米于2023年8月30日发布2023年半年度报告：2023年上半年公司实现营业收入3.82亿元，同比增加145.53%；实现归属于母公司所有者的净利润为6,856.72万元，与上年同期相比实现扭亏为盈；毛利率为43.17%，同比增长8.73pct；净利率为17.95%，较去年全年7.91%大幅增长，主要是营收增长后费用率摊薄，研发费用率从20.22%下降至16.72%，及其他收益中增值税退税增长。 2023年二季度，公司实现营业收入3.06亿元，同比增长1,204.27%，实现归属于母公司所有者的净利润6,965.62万元，同比增长7,074.53万元；毛利率为41.95%，同比下滑9.57pct，环比下滑5.26pct；净利率为22.74%，环比增加24.18pct。 在手订单充沛，业绩高增有保障 分业务来看，2023年上半年，公司光伏设备业务实现收入3.31亿元，占比86.55%，同比增长131.33%；半导体设备业务实现收入0.17亿元，占比4.36%，同比增长250.95%；配套产品及服务业务实现收入0.34亿元，占比8.94%，同比增长351.32%。 公司业务量不断扩大，在手订单金额持续增长。截止至2020年6月30日，公司在手专用设备订单约62.53亿元，其中光伏设备订单56.21亿元，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8,461万元。截至2022年6月末，公司存货20.90亿元，较年底增加114.29%；合同负债15.54亿元，较年底增加148.53%，后续业绩高增有保障。 新品进展顺利，应用领域不断拓宽 半导体：从ALD向CVD拓展，产品不断推新。ALD：公司加速推进现有产品的产业化验证工作，公司iTomic MW系列批量式原子层沉积镀膜系统实现首台产业化应用，该设备可一次处理25片12英寸晶圆，具备高产能及良好性能指标，进一步扩宽了公司工艺应用覆盖面。CVD：公司新开发的第一代iTronix系列CVD薄膜沉积设备已取得客户订单，并在极短时间内出货至客户端进行产业化验证。 光伏：凭借开发行业内首条GW级PE-Poly TOPCon电池工艺整线的技术优势，公司推出了全新的TOPCon2.0整线工艺技术解决方案，TOPCon2.0管式PETox+PE-poly四合一的各项技术指标达到了行业先进水平。 投资建议 考虑到费用结构改变，我们微调预测公司2023-2025年营业收入分别为18.57/31.81/44.12亿元，归母净利润分别为1.61/3.64/5.59亿元（前值为1.76/3.80/5.83亿元），以当前总股本4.54亿股计算的摊薄EPS为0.35/0.80/1.23元。公司当前股价对2023-2025年预测EPS的PE倍数分别为139/62/40倍，考虑到公司在ALD领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性，保持“增持”评级。 风险提示 1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。2）技术迭代带来的创新风险。3）国内市场竞争加剧的风险。4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

微导纳米(688147) 投资要点 7月18日晚，公司发布2023年上半年业绩预告。 中报营收利润高速增长，23Q2利润率大幅提升 23H1营收预计3.6到4亿元，同比增长133%到158%；归母净利润6200-7500万，同比扭亏为盈（去年同期-3925万）；扣非归母净利润4040万到5340万元，同比扭亏为盈（去年同期-4931万）。23Q2营收预计2.9-3.3亿，同比1223%-1385%，环比279%-329%；归母净利润6300-7600万，同比扭亏为盈（去年同期-4186w）；扣非归母净利润4296-5596万。 从收入端看，23Q2收入创历史新高。公司积极推进客户验收，带来公司营业收入同比高增长。利润端看，净利率高增长，以预告中值计算23Q2净利率22.7%，远高于22年净利率7.9%。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期 受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单22.7亿元，其中新增半导体设备订单2.4亿元，新增光伏设备订单20.2亿元。6月以来，公司公告与浙江国康新能源、滁州亿晶光电分别签署4.4亿、3.86亿元（含税）TOPCon整线工艺合同。公司TOPCon电池工艺整线技术再次取得客户认可，市场份额有望不断提升。 半导体设备：品类扩张+国产化率提升双驱动，业务弹性大 公司立足ALD拓展CVD设备，ALD设备实现TALD、PEALD全覆盖，设备覆盖数十种镀膜材料工艺，未来有望多点开花。拓展PECVD、LPCVD设备，近日部分CVD设备已发货至客户端。荷兰管制部分ALD设备，国内fab厂验证窗口打开，看好ALD设备国产化加速。 光伏设备：行业扩产及产品多元化驱动，新签订单高增长 公司ALD设备高市占率+TOPCon整线推进，叠加行业今年扩产高峰，订单有望维持高增速。公司持续丰富光伏产品线，成熟产品包括ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种设备，可提供TOCon整线解决方案。同时公司积极布局研发新型电池技术，xBC、钙钛矿叠层电池有望接力发展。 盈利预测：考虑公司订单高增长及利润率提升，我们上调24-25年营收及利润预测。预计2023-2025年营收为14.0、33.8、44.9亿元，同比增长105%、141%、33%，归母净利润1.19、3.63、5.13亿元，同比增长119%、206%、41%，对应PE为190、62、44倍。维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期的风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险。

微导纳米(688147) 投资要点 7月16日公司微信公众号发布，首台半导体CVD薄膜沉积设备已顺利发货至客户端。 首台半导体CVD设备发货，解决关键工艺市场空白 继6月29日公司于SEMICON展会上发布PECVD和LPCVD两大系列产品后，仅半月时间，首台半导体CVD设备已顺利发货至客户端。公司CVD设备基于差异化策略开发，为市场亟需的CVD领域高端设备，可解决关键工艺的市场空白。公司CVD薄膜沉积设备适用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同种类薄膜，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期 受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，2023年以来公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单22.7亿元，其中新增半导体设备订单2.4亿元，新增光伏设备订单20.2亿元。6月以来，公司公告与浙江国康新能源、滁州亿晶光电分别签署4.4亿、3.86亿元（含税）TOPCon整线工艺合同。公司TOPCon电池工艺整线技术再次取得客户认可，市场份额有望不断提升。 半导体设备：产品品类扩张+国产化率提升双驱动，订单弹性大 产品品类扩张：公司立足ALD扩展CVD设备，国内市场空间从约50亿拓展至近300亿元。ALD设备方面，公司实现TALD、PEALD全覆盖，布局开发了多种沉积材料，已在逻辑、存储、化合物、新型显示获得订单，未来有望继续多点开花。CVD设备基于客户需求从硬掩模沉积设备切入，已发货至客户端。国产化率提升：荷兰最新半导体出口管制将ALD设备纳入范围，国产化需求迫切。荷兰先晶半导体ALD设备全球市占率45%，ALD是先进制程关键设备之一，2022年ALD设备国产化率＜2%，外部管制趋严国产化率有望加速提升。 光伏设备：行业扩产及产品多元化驱动，新签订单迎来爆发式增长 2023年是国内光伏扩产大年，公司把握N型TOPCon扩产浪潮，凭借ALD设备技术优势及TOPCon整线工艺，市占率逐步提升，迎来订单爆发式增长。公司持续丰富光伏产品线，成熟产品包括ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种设备，可提供TOCon整线解决方案。同时公司积极布局研发新型电池技术，xBC、钙钛矿叠层电池有望接力发展。 盈利预测：预计2023-2025年公司实现营收为14.0、23.5、35.4亿元，归母净利润1.01、2.17、4.09亿元，对应PE为239、111、59倍。维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期的风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险。

微导纳米(688147) 投资要点 事件：6月29日微导纳米公众号发布，公司于上海SEMICON展会正式发布第一代iTronix系列CVD薄膜沉积设备，包括PECVD和LPCVD两大产品。公司CVD薄膜沉积设备已获得客户订单，设备验证进展顺利。 推出PECVD、LPCVD丰富产品矩阵，产品已获客户订单验证进展顺利6月29日SEMICON china在上海开幕，公司正式发布iTronixPE系列和LP系列两大产品。公司PECVD设备可沉积相应不同种类薄膜，应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域的芯片制造。可安装更多反应腔以满足高产能需求。LPCVD设备在逻辑芯片、DRAM芯片、NAND芯片等领域具有广泛应用，可满足SiGe、p-Si、doped a-Si、SiO2、SiN等薄膜沉积工艺的开发与应用需求。目前CVD设备已获得客户订单，设备验证进展顺利。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，2023年以来公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单22.7亿元，其中新增半导体设备订单2.4亿元，新增光伏设备订单20.2亿元。6月以来，公司公告与浙江国康新能源、滁州亿晶光电分别签署4.4亿、3.86亿元（含税）TOPCon整线工艺合同。公司TOPCon电池工艺整线技术再次取得客户认可，市场份额有望不断提升。 半导体设备：品类扩张+国产化率提升双驱动，公司半导体业务弹性大公司是国产ALD设备领军者，实现了TALD、PEALD工艺全覆盖，已在逻辑、存储、新型显示、化合物半导体领域取得重复订单。基于客户需求研发CVD设备，已获得客户订单。当前薄膜沉积设备市占率仍处于较低水平，自主可控驱动设备验证加速，国产化率有望快速提升。随着公司由ALD向CVD设备扩张，公司可覆盖的国内市场空间由ALD设备的47亿扩展至ALD+CVD的300亿市场。国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。 光伏设备：持续丰富产品线，TOPCon整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展公司持续丰富光伏产品线，研发ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种设备，推进AEP技术为核心的TOPCon电池工艺整线，可提供TOPCon设备价值量提升至产线投资额的40-50%，已出货XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术的设备。未来xBC、叠层电池有望接力TOPCon发展。 盈利预测：预计2023-2025年公司实现营收为14.0、23.5、35.4亿元，归母净利润1.01、2.17、4.09亿元，对应PE为233、108、57倍。维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期的风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险。

微导纳米(688147) 投资要点 事件： 6 月 13 日公司公告，与浙江国康新能源科技有限公司签署 TOPCon 设备销售合同，金额总计约 4.41 亿元（含税）。 新签 4.41 亿 TOPCon 设备合同，整线工艺技术客户再突破 6 月 13 日公司公告， 与浙江国康新能源签订 4.41 亿（含税） TOPCon 设备合同，包括 ALD、 PEALD、 PECVD、管式氧化退火炉、管式扩散炉等设备， 订单将于 6 月30 日起陆续交付。 2022 年，公司开发的行业内首条 GW 级 TOPCon 工艺整线无锡尚德项目已取得客户验收， 此次浙江国康新能源 TOPCon 整线订单的签订，表明公司 TOPCon 电池工艺整线技术再次取得客户认可， 市场竞争力不断提升。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期 受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域 TOPCon 等新型电池技术扩产， 2023 年以来公司半导体和光伏新签订单实现高增长。 2023 年初至 4 月24 日， 公司新增专用设备订单 22.7 亿元，其中新增半导体设备订单 2.4 亿元，新增光伏设备订单 20.2 亿元。 截至 2022 年末， 公司在手订单 22.9 亿，其中半导体设备 2.6 亿，光伏订单 19.7 亿。 据此我们测算， 4 月末公司半导体在手订单约 5 亿元（ 22 年半导体收入 0.47 亿的 11 倍）， 光伏在手订单约 39 亿（ 22 年光伏设备收入 5.01 亿的 6 倍）。 随着公司半导体设备品类的不断扩张、光伏设备持续获得客户认可，公司半导体和光伏均有望持续高增长。 半导体设备： 品类扩张+国产化率提升双驱动，公司半导体业务弹性大 1） 公司是国产 ALD 设备领军者， 实现了 TALD、 PEALD 工艺全覆盖。 公司研发的ALD 设备，适用于沉积各种氧化物和氮化物、互相掺杂沉积工艺等薄膜材料，可广泛应用于逻辑芯片、传统及新型存储芯片的电容介质层、高 K 栅介质覆盖层、掺杂介质层、芯片制造电极及阻挡层、化合物半导体钝化和过渡层、 MEMS 和CMOS 芯片的多重图案化和间隔层等众多应用领域。 公司是国内首家成功将 28nmALD high-k 设备应用于量产线的公司， 目前已在逻辑、存储、新型显示、化合物半导体领域取得重复订单。 2） 基于客户需求研发 CVD 设备，硬掩膜 CVD 设备已客户试样。 公司开发的iTronix 系列 CVD 系统，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料， 产品可用于芯片制造钝化层、扩散阻挡层、介电层、硬掩膜层与高级图案化层、电容覆盖层等应用领域。 公司基于客户关键工艺开发的战略需求，研发硬掩模工艺 CVD 设备，已送往客户试样验证。 当前薄膜沉积设备市占率仍处于较低水平， 自主可控驱动设备验证加速，国产化率有望快速提升。 随着公司由 ALD 向 CVD 设备扩张，公司可覆盖的国内市场空间由 ALD 设备的 47 亿扩展至 ALD+CVD 的 300 亿市场。 国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。 光伏设备：持续丰富产品线， TOPCon 整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展公司持续丰富光伏产品线， 研发 ALD、 PECVD、 PEALD、扩散等多种设备，推进AEP技术为核心的 TOPCon 电池工艺整线，可提供 TOPCon 设备价值量提升至产线投资额的 40-50%， 已出货 XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术的设备。未来 xBC、叠层电池有望接力 TOPCon 发展。 盈利预测： 预计 2023-2025 年公司实现营收为 14.0、 23.5、 35.4 亿元，归母净利润 1.01、 2.17、 4.09 亿元，对应 PE 为 244、 113、 60 倍。 维持“增持”评级。 风险提示： 新产品验证进度不及预期的风险、 国内市场竞争加剧的风险、 外部半导体管制加剧风险

微导纳米(688147) 事件概况 微导纳米于 2023 年 6 月 13 日发布公告： 公司近日与浙江国康新能源科技有限公司签署了 TOPCon 电池设备销售合同，合同金额总计约为人民币 4.41 亿元（含税）。 光伏： ALD 持续领先，在手订单充沛 本次公司和国康爱康签订的 TOPCon 电池设备，包括但不限于 ALD设备、 PEALD 设备、 PECVD 设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备从 2023 年 6 月 30 日开始交付。 该合同的签订标志着公司客户拓展和 TOPCon 电池工艺整线设备获得了突破性的进展。公司光伏设备订单随着 TOPCon 的快速扩产大幅增加，为公司的业 绩增长奠定坚实基础。 截止 2022 年 12 月底，公司在手专用设备订单22.93 亿元，其中光伏设备订单 19.67 亿元，半导体设备订单 2.57 亿元，其他设备订单 6,881 万元。 2023 年 1 月初至 2023 年 4 月 24 日，公司新增专用设备订单 22.74 亿元，其中新增半导体设备订单 2.42 亿元，新增光伏设备订单 20.16 亿元，新增其他设备订单 1,580 万元。 半导体： 应用领域不断拓宽， CVD 产品拓宽成长空间 公司是国内首家将 High-k 的 ALD 工艺成功量产并应用于 28nm 节点前道生产线的国产设备公司，并已获得客户重复订单认可，填补了我国在该项半导体设备上的空白。 此外，公司 2022 年推出的应用于逻辑芯片、传统和新型存储芯片、 CMOS 芯片、 MEMS 等领域的多款 ALD 设备也取得了客户订单。 iTronix 系列 CVD 系统，是公司新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料，部分产品已经发往客户处进行试样验证。 根据 SEMI 行业统计，半导体薄膜技术领域，ALD 约占镀膜板块的 11%市场份额， CVD约占镀膜板块的 57%市场份额， 市场空间广阔。 公司以硬掩模工艺为切入点，解决关键工艺卡脖子问题，通过差异化策略开发 CVD 领域的关键设备。 投资建议 我们预测公司 2023-2025 年营业收入分别为 18.57/31.81/44.12 亿元，归母净利润分别为 1.76/3.80/5.83 亿元， 以当前总股本 4.54 亿股计算的摊薄 EPS 为 0.39/0.84/1.28 元。公司当前股价对 2023-2025 年预测 EPS 的 PE倍数分别为 140/65/42 倍，考虑到公司在 ALD 领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性， 保持“增持”评级。 风险提示 1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。 2）技术迭代带来的创新风险。 3）国内市场竞争加剧的风险。 4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。 6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

微导纳米(688147) 核心观点 一季度收入确认较少，营收利润相对承压。公司2022年实现营业收入6.8亿元，同比+60.0%；实现归母净利润0.5亿元，同比+17.4%。23Q1实现营收0.8亿元，同比-43%，环比-75%；实现归母净利润-0.01亿元，同比-142%，环比-102%。23Q1公司营收明显下降，而研发费用相对刚性，导致净利润出现微亏。营收下降的主要原因是公司的专用设备产品从发货到验收周期较长（一般6-14个月），而2022年上半年受到江浙沪地区疫情影响，因此公司2022年的设备产品发货交付主要集中在下半年，导致23Q1确认收入较少。 行业TOPCon技术率先放量，公司光伏设备销量大幅提升。经过2022年部分组件商、电池商的先驱探索，N型TOPCon技术的经济性已得到充分验证。目前N型TOPCon正面氧化铝钝化膜基本全部采用ALD技术，微导纳米在该环节竞争优势明显。公司2022年光伏设备销售102台，同比增加76%；光伏设备实现营业收入5.0亿元，同比增加82%。在P型电池转换效率接近天花板的背景下，降本增效需求将进一步驱动光伏电池技术的迭代，TOPCon产能有望呈现加速扩张趋势，公司有望充分受益。 半导体设备进展顺利。半导体领域内，公司加速了各细分领域的产品研发、产业验证和应用，实现多项ALD、CVD技术产业化的突破，在保持ALD产品市场竞争力的同时，不断推出更多具备竞争力的CVD系列产品。半导体设备半导体设备销售6台，同比提升500%。半导体设备实现营业收入0.47亿元，同比增长86%。 在手订单充裕，后续增长可期。截止2022年12月底，公司在手专用设备订单22.9亿元，其中光伏设备订单19.7亿元，半导体设备订单2.6亿元，其他设备订单0.69亿元。2023年1-4月，公司新增专用设备订单22.7亿元。公司在手订单充裕，保障后续销售规模和经营业绩持续快速增长。 风险提示：光伏电池技术迭代风险，公司产品拓展不及预期，光伏设备行业竞争加剧等。 投资建议：维持盈利预测。我们预计23-25年公司实现归母净利润1.57/2.54/3.31亿元，同比增速189%/62%/31%，对应5月12日收盘价的动态PE为126.8/78.2/60.0x。

微导纳米(688147) 事件：公司发布2022年年报及2023年一季报。 2022年全年收入高增长，23Q1客户验收节奏导致收入波动 2022年实现营收6.85亿元，同比+60%；归母净利润0.54亿元，同比+17%；扣非归母净利润0.2亿元，同比-26%。收入端实现高增长，主要系订单增速较快，光伏PERC及TOPCon等高效电池领域和半导体领域销量增长。2022年毛利率42.3%，同比下降3.5pct，净利率7.9%，同比下降2.9pct，毛利率波动主要原因系产品线扩张，部分低毛利设备确认收入所致。 2023年第一季度收入0.76亿元，同比下降43%；归母净利润-109万元，同比下降142%。收入和利润波动主要系客户项目实施和验收节奏所致：一季度验收项目规模较小，部分费用前置影响利润。预计2023年收入仍维持高速增长。 新签订单高增长，在手订单充沛业绩增长可期 2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单22.74亿元，其中新增半导体设备订单2.42亿元，新增光伏设备订单20.16亿元，新增其他设备订单1580万元。截至2022年末，公司在手订单22.93亿，其中半导体设备订单2.57亿，光伏设备订单19.67亿。据此我们测算，截至4月末公司半导体在手订单约5亿元，约为22年半导体收入0.47亿的11倍，光伏在手订单约39亿，约为22年光伏设备收入5.01亿的8倍。截至2023年一季度末，公司合同负债9.48亿元，相较于2022年末增长3.2亿元，验证公司订单增速快。受益于半导体领域客户拓展及新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，公司全年订单有望维持高增长。 半导体设备：ALD设备技术引领行业，拓展CVD设备市场空间打开 据公司22年报，半导体设备新增CVD和PE-ALD两类设备，CVD正在与客户试样，PE-ALD设备已签署合同处于产业化验证阶段。据SEMI，22年我国半导体设备市场规模283亿美元（约1900亿元），其中薄膜沉积设备市场规模约420亿元，ALD、CVD设备分别占薄膜沉积设备11%、57%，测算得ALD、CVD设备市场规模分别为46、239亿元，新品类延伸带动公司市场空间大幅扩展。 公司半导体ALD设备已在多个半导体细分应用领域取得订单：1）逻辑芯片领域，28nmHigh-kALD设备获得客户验收并取得重复订单。2）存储芯片领域，ALD设备在高K栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域。公司单片ALD设备已获得重复订单，批量型ALD设备获得客户订单，且为行业首台批量型ALD设备在存储芯片制造领域的应用。3）新型显示领域：ALD主要用于沉积硅基微型显示芯片的阻水阻氧保护层，公司已获得多个客户订单。4）化合物半导体领域，ALD技术适合生长超薄Al2O3、AlN等膜层作为钝化层和过渡层，保证器件具有良好的漏电和击穿性能，公司已取得客户订单。 光伏设备：光伏ALD设备龙头地位稳固，TOPCon设备获得头部客户批量订单 光伏领域公司优势设备为ALD设备，主要镀氧化铝层。在2022上半年TOPCon、xBC产线招标中，公司ALD设备中标产线规模均达75%。公司不断拓展产品线，从ALD设备拓展至TOPCon整线设备，可提供的TOPCon设备价值量提升至产线投资额的40-50%，并完成GW级别TOPCon整线设备验证。公司PE-Poly设备获得龙头客户认可，PE设备市占率有望提升。公司积极推进钙钛矿设备验证，设备可应用于钙钛矿/异质结叠层电池等的非晶/微晶、掺杂层、阻水阻氧、致密保护层等薄膜材料，已发往客户端验证。今年TOPCon迎扩产高峰，公司订单有望延续高增速。 盈利预测：2022年至今公司订单高速增长，预计将带动公司收入端快速增长；同时考虑到2023-2025年存在股权支付费用，我们预计23-25年利润率逐年提升。预计2023-2025年公司实现营收为14.0、23.5、35.4亿元，归母净利润1.01、2.17、4.09亿元，对应PE为239、111、59倍。维持“增持”评级。 风险提示：国内市场竞争加剧的风险、技术迭代及新产品开发风险、新产品验证进度及市场发展不及预期的风险、美国半导体管制加剧风险