| 2027-12-02 | 限售解禁 | 2027-12-02预计解禁数量43.69万股，占总股本比例0.10%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-12-02 | 限售解禁 | 2027-12-02预计解禁数量43.69万股，占总股本比例0.09%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-11-25 | 限售解禁 | 2027-11-25预计解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-11-25 | 限售解禁 | 2027-11-25预计解禁数量215万股，占总股本比例0.45%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-14 | 限售解禁 | 2027-06-14预计解禁数量44.62万股，占总股本比例0.10%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-14 | 限售解禁 | 2027-06-14预计解禁数量44.62万股，占总股本比例0.09%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07预计解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07预计解禁数量215万股，占总股本比例0.45%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-08-18 | 机构调研 | 于2026-08-14接待调研，参与对象：Citadel Enterprise Americas LLC等，参与方式：业绩说明会 |
| 2026-08-14 | 大宗交易 | 成交均价263.50元，折价13.72%，成交量1.4万股，成交金额368.9万元 |
| 2026-08-08 | 中报预披露 | 于2026-08-08披露2026年中报 |
| 2026-08-08 | 中报披露 | 2026年中报归属净利润9.889亿元，同比增长42.14%，基本每股收益2.06元 |
| 2026-08-08 | 对外担保 | 对清芯科技有限公司进行担保 |
| 2026-08-08 | 项目投资 | 股票增发，新股首发募集资金，计划总投资额合计47.05亿元，用于项目：高端半导体设备迭代研发项目、补充流动资金、研发和工艺测试平台建设项目、剩余超募资金永久补充流动资金 |
| 2026-08-08 | 股东户数 | 截止2026-06-30，公司A股股东户数为24268户，较上期（2026-03-31）增加1818户，变动幅度8.10% |
| 2026-08-08 | 股权激励 | 股权激励：第二类限制性股票 203.1万股 |
| 2026-07-30 | 分红送转 | 2025年度分配10派6.2016元(含税)，股权登记日2026-07-30，除权除息日2026-07-31 |
| 2026-07-30 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2026-07-21 | 大宗交易 | 成交均价226.00元，折价30.67%，成交量10.65万股，成交金额2407万元 |
| 2026-07-10 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2026-07-10 | 高管减持 | 王俊(高级管理人员,核心技术人员)减持5300股，交易均价：408.02元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-09 | 大宗交易 | 成交均价332.10元，折价23.23%，成交量1.55万股，成交金额514.8万元 |
| 2026-07-09 | 高管减持 | 王俊(高级管理人员,核心技术人员)减持10000股，交易均价：431.50元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-08 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-07-08减持,累计4.75万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-07-06 | 高管减持 | 王坚(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持3万股，交易均价：373.80元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-03 | 高管减持 | 王坚(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持5.2万股，交易均价：366.88元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-02 | 高管减持 | 王坚(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持1.2万股，交易均价：371.40元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-01 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-07-01减持,累计3.31万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-06-30 | 大宗交易 | 成交均价450.00元，溢价4.17%，成交量12.2万股，成交金额5490万元 |