序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	ACM RESEARCH, INC.	35289.07	72.72	不变	0.00
2	上海浦东新兴产业投资有限公司	1250.67	2.58	减少	-47.61
3	中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金	798.97	1.65	增加	240.46
4	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	761.90	1.57	增加	467.35
5	香港中央结算有限公司	538.97	1.11	增加	34.14
6	招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金	491.37	1.01	增加	227.18
7	中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金	439.73	0.91	增加	234.47
8	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	366.93	0.76	增加	95.12
9	中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金	239.72	0.49	增加	21.28
10	中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金	222.72	0.46	增加	61.56