序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	杭州广立微股权投资有限公司	3324.28	16.60	不变	0.00
2	杭州广立共创投资合伙企业(有限合伙)	1824.77	9.11	减少	-74.82
3	史峥	1638.20	8.18	减少	-0.20
4	郑勇军	1172.73	5.86	减少	-31.51
5	杨慎知	589.05	2.94	减少	-4.57
6	杭州广立共进企业管理合伙企业(有限合伙)	529.64	2.64	减少	-21.72
7	香港中央结算有限公司	451.49	2.25	增加	156.70
8	北京武岳峰中清正合科技创业投资管理有限公司-北京武岳峰亦合高科技产业投资合伙企业(有限合伙)	284.08	1.42	减少	-394.00
9	中国工商银行股份有限公司-诺安先锋混合型证券投资基金	266.21	1.33	新进	266.21
10	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	227.20	1.13	新进	227.20