序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	派瑞科技有限公司	36621.59	69.17	不变	0.00
2	中船投资发展有限公司	1822.50	3.44	不变	0.00
3	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	836.01	1.58	增加	541.03
4	天津万海长红科技中心(有限合伙)	688.63	1.30	减少	-561.81
5	香港中央结算有限公司	598.86	1.13	增加	324.66
6	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	403.05	0.76	增加	99.92
7	天津万海长风科技中心(有限合伙)	402.47	0.76	减少	-403.00
8	中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金	263.79	0.50	增加	33.04
9	国新宏盛投资(北京)有限公司	228.32	0.43	新进	228.32
10	国泰海通证券股份有限公司-华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	207.13	0.39	新进	207.13