| 流通市值:54.05亿 | 总市值:132.50亿 | ||
| 流通股本:4079.59万 | 总股本:1.00亿 | 
| 截至日期 | 股东户数 | 户均持股(股) | 较上期变化(%) | 
| 2025-09-30 | 18298 | 5465.08 | 77.08 | 
| 2025-06-30 | 10333 | 9677.73 | 53.08 | 
| 2025-03-31 | 6750 | 14814.81 | -25.45 | 
| 2024-12-31 | 9054 | 11044.84 | -47.02 | 
| 2024-09-30 | 17088 | 5852.06 | -30.43 | 
| 2024-06-30 | 24561 | 4071.50 | -8.94 | 
| 2024-06-05 | 26972 | 3707.55 | 207376.92 | 
| 2024-05-16 | 13 | 5769230.77 | 0.00 | 
| 2024-01-29 | 13 | 5769230.77 | 0.00 | 
| 2023-12-21 | 13 | 5769230.77 | 0.00 | 
| 股东名称 | 持股数 (万股) | 占总股本 比例(%) | 变动类型 | 变动数量 (万股) | 
| 交通银行股份有限公司-永赢半导体产业智选混合... | 400.00 | 9.80 | 增加 | 232.00 | 
| 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合... | 263.04 | 6.45 | 减少 | -247.16 | 
| 中国工商银行股份有限公司-博时信用债券投资基... | 106.00 | 2.60 | 不变 | 0.00 | 
| 深圳市宁濛瑞投资有限公司 | 95.00 | 2.33 | 减少 | -28.00 | 
| 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配... | 82.77 | 2.03 | 减少 | -38.89 | 
| 上海浦东发展银行股份有限公司-德邦半导体产业... | 69.63 | 1.71 | 新进 | 69.63 | 
| 招商银行股份有限公司-中欧数字经济混合型发起... | 45.01 | 1.10 | 新进 | 45.01 | 
| 夏侯早耀 | 40.01 | 0.98 | 减少 | -52.70 | 
| 招商银行股份有限公司-博时新收益灵活配置混合... | 38.00 | 0.93 | 新进 | 38.00 | 
| 全国社保基金五零一组合 | 37.00 | 0.91 | 减少 | -11.46 | 
| 股东名称 | 持股数 (万股) | 占总股 比例(%) | 变动类型 | 变动数量 (万股) | 
| 李志荣 | 2289.16 | 22.89 | 不变 | 0.00 | 
| 罗志明 | 1534.34 | 15.34 | 不变 | 0.00 | 
| 李志方 | 971.75 | 9.72 | 不变 | 0.00 | 
| 新余碧水投资合伙企业(有限合伙) | 578.04 | 5.78 | 不变 | 0.00 | 
| 交通银行股份有限公司-永赢半导体产业智选混合... | 400.00 | 4.00 | 增加 | 232.00 | 
| 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合... | 381.62 | 3.82 | 减少 | -247.16 | 
| 李秋霞 | 292.73 | 2.93 | 不变 | 0.00 | 
| 深圳市宁濛瑞投资有限公司 | 111.05 | 1.11 | 减少 | -28.00 | 
| 中国工商银行股份有限公司-博时信用债券投资基... | 106.00 | 1.06 | 新进 | 106.00 | 
| 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配... | 82.77 | 0.83 | 新进 | 82.77 | 
| 股东名称 | 解禁数量 (股) | 上市日 | 实际解禁数量 (股) | 
| 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 5102044 | 2025-06-05 | 5102044 | 
| 深圳市前海鹏晨创智投资管理企业(有限合伙) | 2714291 | 2025-06-05 | 2714291 | 
| 兴证证券资管-兴业银行-兴证资管鑫众汇成真空1号员工战略配售集合资产管理计划 | 2500000 | 2025-06-05 | 2500000 | 
| 夏侯早耀 | 1884284 | 2025-06-05 | 1884284 | 
| 朱雪松 | 1696428 | 2025-06-05 | 1696428 | 
| 西藏佳得加企业管理有限公司 | 1357140 | 2025-06-05 | 1357140 | 
| 深圳市宁濛瑞投资有限公司 | 1307035 | 2025-06-05 | 1307035 | 
| 深圳市前海鹏晨源拓投资企业(有限合伙) | 1224486 | 2025-06-05 | 1224486 | 
| 姓名 | 职务 | 变动数量 (股) | 变动后持股 数(股) | 变动原因 | 变动日期 | 
| 兴证资管鑫众汇成真空1号员工战略配售集合资产管理计划 | 董事,董事长 | 2500000 | 2500000 | 首发上市 | 2024-06-05 | 
| 兴证资管鑫众汇成真空1号员工战略配售集合资产管理计划 | 董事,董事长 | 2500000 | 2500000 | 首发上市 | 2024-06-05 | 
| 兴证资管鑫众汇成真空1号员工战略配售集合资产管理计划 | 董事,董事长 | 2500000 | 2500000 | 首发上市 | 2024-06-05 | 
| 基金名称 | 持股数(股) | 持股市值(元) | 占总股本比(%) | 占流通比(%) | 
| 永赢半导体产业智选混合发起A | 4000000 | 692520000.00 | 4.00 | 9.80 | 
| 博时信用债券A/B | 1059990 | 183516068.70 | 1.06 | 2.60 | 
| 金信稳健策略混合A | 827700 | 143299701.00 | 0.83 | 2.03 | 
| 德邦半导体产业混合发起式A | 696300 | 120550419.00 | 0.70 | 1.71 | 
| 中欧数字经济混合发起A | 450100 | 77925813.00 | 0.45 | 1.10 | 
| 博时新收益混合A | 380000 | 65789400.00 | 0.38 | 0.93 | 
| 金信精选成长混合A | 237600 | 41135688.00 | 0.24 | 0.58 | 
| 惠升和悦债券A | 200000 | 34626000.00 | 0.20 | 0.49 | 
| 前海开源高端装备制造混合A | 134803 | 23338443.39 | 0.13 | 0.33 | 
| 汇添富中证芯片产业指数增强发起式A | 131600 | 22783908.00 | 0.13 | 0.32 | 
| 博时丝路主题股票A | 122700 | 21243051.00 | 0.12 | 0.30 | 
| 金信行业优选混合发起式A | 105100 | 18195963.00 | 0.11 | 0.26 | 
| 博时信享一年持有期混合A | 99400 | 17209122.00 | 0.10 | 0.24 | 
| 中欧半导体产业股票发起A | 50000 | 8656500.00 | 0.05 | 0.12 | 
| 国金新兴价值混合A | 50000 | 8656500.00 | 0.05 | 0.12 | 
| 博时浦惠一年持有期混合A | 44000 | 7617720.00 | 0.04 | 0.11 | 
| 南方半导体产业股票发起A | 38600 | 6682818.00 | 0.04 | 0.09 | 
| 博时恒益稳健一年持有期混合A | 14500 | 2510385.00 | 0.01 | 0.04 | 
| 博时恒盛持有期混合A | 10200 | 1765926.00 | 0.01 | 0.03 | 
| 金元顺安价值增长混合 | 8600 | 1488918.00 | 0.01 | 0.02 |