按行业分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体设备 142570.63 99.96 96075.57 100.00 99.88 32.61 其他(补充) 53.66 0.04 0.00 - 0.12 -

按产品分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体专用温控设备 93698.96 65.70 59618.41 62.05 73.21 36.37 半导体专用工艺废气处理设备 34807.46 24.41 25502.57 26.54 19.99 26.73 零配件及支持性设备 8356.41 5.86 6047.89 6.29 4.96 27.63 晶圆传片设备 3564.42 2.50 3386.30 3.52 0.38 5.00 维护、维修等服务 2143.38 1.50 1520.39 1.58 1.34 29.07 其他(补充) 53.66 0.04 0.00 - 0.12 -

按地域分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 中国大陆 142570.63 99.96 96075.57 100.00 99.88 32.61 其他(补充) 53.66 0.04 0.00 - 0.12 -