按行业分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体设备 74228.31 100.00 45758.10 100.00 100.00 38.35

按产品分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体专用设备 67680.60 91.18 40525.59 88.56 95.38 40.12 其中:半导体专用温控设备 46061.59 62.05 27999.02 61.19 63.44 39.21 其中:半导体专用工艺废气处理设备 21619.01 29.13 12526.56 27.38 31.94 42.06 零配件及支持性设备 5134.63 6.92 4129.77 9.03 3.53 19.57 维护、维修等服务 1413.08 1.90 1102.74 2.41 1.09 21.96

按地域分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 中国大陆 74228.31 100.00 45758.10 100.00 100.00 38.35