序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	北京京仪集团有限责任公司	4725.00	28.13	不变	0.00
2	安徽北自投资管理中心(有限合伙)	2013.64	11.99	不变	0.00
3	中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金	823.02	4.90	增加	3.02
4	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	528.47	3.15	增加	322.76
5	全国社保基金一零九组合	270.05	1.61	新进	270.05
6	汇添富基金管理股份有限公司-社保基金17022组合	265.76	1.58	增加	19.16
7	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	253.56	1.51	增加	60.62
8	香港中央结算有限公司	215.31	1.28	增加	6.09
9	中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金	207.26	1.23	新进	207.26
10	易方达泰恒股票专项型养老金产品-招商银行股份有限公司	182.39	1.09	新进	182.39
11	易方达泰恒股票专项型养老金产品-招商银行股份有限公司	182.39	1.09	新进	182.39