序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	北京京仪集团有限责任公司	4725.00	28.13	不变	0.00
2	安徽北自投资管理中心(有限合伙)	2013.64	11.99	不变	0.00
3	中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金	820.00	4.88	不变	0.00
4	中国银行股份有限公司-易方达供给改革灵活配置混合型证券投资基金	259.77	1.55	新进	259.77
5	汇添富基金管理股份有限公司-社保基金17022组合	246.59	1.47	新进	246.59
6	香港中央结算有限公司	209.22	1.25	新进	209.22
7	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	205.71	1.22	增加	4.41
8	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	192.94	1.15	减少	-36.79
9	上海浦东发展银行股份有限公司-广发小盘成长混合型证券投资基金(LOF)	136.91	0.81	减少	-29.08
10	中国银行股份有限公司-易方达丰和债券型证券投资基金	120.00	0.71	新进	120.00