| 流通市值：337.62亿 | 总市值：352.49亿 | ||
| 流通股本：6.62亿 | 总股本：6.91亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 沈洁 | 6045.19 | 9.13 | 减少 | -691.15 |
| 2 | 北京宏裕融基创业投资中心(有限合伙) | 1352.92 | 2.04 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 南京大学资本运营有限公司 | 1314.49 | 1.99 | 减少 | -367.30 |
| 4 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1310.08 | 1.98 | 减少 | -261.00 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 | 974.18 | 1.47 | 减少 | -258.33 |
| 6 | 张兴国 | 904.41 | 1.37 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 504.56 | 0.76 | 新进 | 504.56 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 362.63 | 0.55 | 减少 | -213.21 |
| 9 | 招商银行股份有限公司-广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 345.71 | 0.52 | 新进 | 345.71 |
| 10 | 张建富 | 340.49 | 0.51 | 新进 | 340.49 |