序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	沈洁	6045.19	8.75	减少	-691.15
2	张兴国	3617.63	5.23	不变	0.00
3	北京宏裕融基创业投资中心(有限合伙)	1352.92	1.96	不变	0.00
4	南京大学资本运营有限公司	1314.49	1.90	减少	-367.30
5	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	1310.08	1.90	减少	-261.00
6	香港中央结算有限公司	974.18	1.41	减少	-258.33
7	中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	504.56	0.73	新进	504.56
8	中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金	362.63	0.52	减少	-213.21
9	招商银行股份有限公司-广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	345.71	0.50	新进	345.71
10	张建富	340.49	0.49	新进	340.49