| 流通市值：138.18亿 | 总市值：164.44亿 | ||
| 流通股本：1.19亿 | 总股本：1.42亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 杨森茂 | 296.93 | 5.66 | 减少 | -102.45 |
| 2 | 天水华天科技股份有限公司 | 229.75 | 4.38 | 减少 | -31.81 |
| 3 | 孙慧明 | 201.00 | 3.83 | 新进 | 201.00 |
| 4 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 109.23 | 2.08 | 增加 | 55.00 |
| 5 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 95.83 | 1.83 | 增加 | 49.89 |
| 6 | 李启明 | 62.00 | 1.18 | 减少 | -22.88 |
| 7 | 上海韫然投资管理有限公司-新兴成长五期私募证券投资基金 | 55.00 | 1.05 | 新进 | 55.00 |
| 8 | 陈青 | 38.38 | 0.73 | 减少 | -23.51 |
| 9 | 沈志良 | 36.00 | 0.69 | 新进 | 36.00 |
| 10 | 薛建民 | 35.67 | 0.68 | 减少 | -34.00 |