| 流通市值：64.52亿 | 总市值：118.10亿 | ||
| 流通股本：5245.56万 | 总股本：9601.43万 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 杨森茂 | 399.38 | 7.61 | 减少 | -139.64 |
| 2 | 天水华天科技股份有限公司 | 261.56 | 4.99 | 减少 | -64.20 |
| 3 | 钱方方 | 88.55 | 1.69 | 减少 | -18.95 |
| 4 | 李启明 | 84.88 | 1.62 | 减少 | -32.85 |
| 5 | 招商银行股份有限公司-嘉实竞争力优选混合型证券投资基金 | 81.40 | 1.55 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 深圳哈勃科技投资合伙企业(有限合伙) | 80.69 | 1.54 | 减少 | -40.35 |
| 7 | 薛建民 | 69.67 | 1.33 | 减少 | -20.24 |
| 8 | 陈青 | 61.89 | 1.18 | 减少 | -24.77 |
| 9 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 54.23 | 1.03 | 新进 | 54.23 |
| 10 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 45.94 | 0.88 | 新进 | 45.94 |