序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	韩江龙	1665.56	11.63	增加	540.18
2	连云港德裕丰投资合伙企业(有限合伙)	1120.30	7.82	增加	89.49
3	陶军	513.78	3.59	增加	166.63
4	成兴明	480.04	3.35	增加	155.69
5	绍兴署辉贸易有限公司	381.51	2.66	增加	123.73
6	上海衡所半导体材料有限公司	307.68	2.15	增加	99.79
7	杨森茂	297.48	2.08	增加	0.56
8	天水华天科技股份有限公司	218.06	1.52	减少	-11.69
9	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	172.50	1.20	新进	172.50
10	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	164.95	1.15	增加	55.72