| 流通市值：24.37亿 | 总市值：60.84亿 | ||
| 流通股本：5348.45万 | 总股本：1.34亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 深圳同创锦绣资产管理有限公司-深圳南海成长湾科私募股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 488.25 | 9.13 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 上海华虹虹芯私募基金合伙企业(有限合伙) | 379.98 | 7.10 | 减少 | -53.66 |
| 3 | 厦门市惠友豪嘉股权投资合伙企业(有限合伙) | 259.13 | 4.85 | 减少 | -45.83 |
| 4 | 王日升 | 116.01 | 2.17 | 减少 | -8.34 |
| 5 | 士兰控股(浙江)有限公司 | 112.50 | 2.10 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 衢州瑞扬企业管理合伙企业(有限合伙) | 91.50 | 1.71 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 90.99 | 1.70 | 增加 | 48.77 |
| 8 | 费占军 | 80.00 | 1.50 | 减少 | -9.26 |
| 9 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 79.05 | 1.48 | 新进 | 79.05 |