| 流通市值：16.71亿 | 总市值：40.45亿 | ||
| 流通股本：5515.33万 | 总股本：1.34亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 348.97 | 6.33 | 增加 | 213.04 |
| 2 | 深圳同创锦绣资产管理有限公司-深圳南海成长湾科私募股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 327.75 | 5.94 | 减少 | -61.50 |
| 3 | 上海华虹虹芯私募基金合伙企业(有限合伙) | 195.25 | 3.54 | 减少 | -50.91 |
| 4 | 海通创新证券投资有限公司 | 166.88 | 3.03 | 新进 | 166.88 |
| 5 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 166.15 | 3.01 | 增加 | 46.69 |
| 6 | 士兰控股(浙江)有限公司 | 103.60 | 1.88 | 减少 | -8.90 |
| 7 | 王日升 | 101.00 | 1.83 | 减少 | -8.30 |
| 8 | 国泰海通证券股份有限公司-华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 86.84 | 1.57 | 新进 | 86.84 |
| 9 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 83.78 | 1.52 | 增加 | 34.86 |
| 10 | 香港中央结算有限公司 | 83.06 | 1.51 | 新进 | 83.06 |