序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	叶小龙	2636.67	19.75	不变	0.00
2	柯汉奇	2636.67	19.75	不变	0.00
3	张道谷	1958.67	14.67	不变	0.00
4	深圳市奇龙谷投资合伙企业(有限合伙)	376.67	2.82	不变	0.00
5	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	348.97	2.61	增加	213.04
6	深圳同创锦绣资产管理有限公司-深圳南海成长湾科私募股权投资基金合伙企业(有限合伙)	327.75	2.46	减少	-61.50
7	深圳市众芯赢投资合伙企业(有限合伙)	226.00	1.69	不变	0.00
8	上海华虹虹芯私募基金合伙企业(有限合伙)	195.25	1.46	减少	-50.91
9	海通创新证券投资有限公司	166.88	1.25	不变	0.00
10	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	166.15	1.24	新进	166.15