| 流通市值：16.71亿 | 总市值：40.45亿 | ||
| 流通股本：5515.33万 | 总股本：1.34亿 |
| 基金名称 | 持股数(股) | 持股市值(元) | 占总股本比例(%) | 占流通股本比例(%) |
| 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 3489741 | 132296081.31 | 2.61 | 6.33 |
| 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 1661472 | 62986403.52 | 1.24 | 3.01 |
| 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 868421 | 32921840.11 | 0.65 | 1.57 |
| 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 837822 | 31761832.02 | 0.63 | 1.52 |