| 2025-12-01 | 增减持计划 | 非控股股东上海创业投资有限公司计划自2025-12-22起至2026-03-21进行减持，拟减持股数不超过626.2万股，占总股本比例不超过1.00% |
| 2025-11-19 | 大宗交易 | 成交均价298.50元，溢价0.00%，成交量1.51万股，成交金额450.7万元 |
| 2025-11-19 | 沪深港通 | 11-19沪股通成交总额8.976亿元 |
| 2025-11-18 | 沪深港通 | 11-18沪股通成交总额8.946亿元 |
| 2025-11-18 | 大宗交易 | 成交均价299.88元，溢价0.00%，成交量2.24万股，成交金额671.7万元 |
| 2025-11-15 | 股东减持 | 巽鑫(上海)投资有限公司于2025-10-14至2025-11-13减持626.1万股，变动数量占流通股比例1.00% |
| 2025-11-13 | 大宗交易 | 2025-11-13共发生6笔大宗交易，总成交量158.6万股，总成交金额4.416亿元 |
| 2025-11-11 | 沪深港通 | 11-11沪股通成交总额7.795亿元 |
| 2025-11-10 | 沪深港通 | 11-10沪股通成交总额11.97亿元 |
| 2025-11-07 | 大宗交易 | 成交均价281.52元，折价8.93%，成交量100万股，成交金额2.815亿元 |
| 2025-11-07 | 沪深港通 | 11-07沪股通成交总额10.01亿元 |
| 2025-11-06 | 沪深港通 | 11-06沪股通成交总额12.19亿元 |
| 2025-11-06 | 大宗交易 | 2025-11-06共发生8笔大宗交易，总成交量116万股，总成交金额3.209亿元 |
| 2025-11-05 | 大宗交易 | 2025-11-05共发生3笔大宗交易，总成交量102万股，总成交金额2.748亿元 |
| 2025-11-04 | 大宗交易 | 2025-11-04共发生16笔大宗交易，总成交量149.6万股，总成交金额3.965亿元 |
| 2025-11-04 | 沪深港通 | 11-04沪股通成交总额13.53亿元 |
| 2025-10-30 | 三季报预披露 | 于2025-10-30披露2025年三季报 |
| 2025-10-30 | 增减持计划 | 非控股股东中微半导体设备(上海)股份有限公司回购专用证券账户计划自2025-11-20起至2026-02-19进行减持，拟减持股数不超过209.6万股，占总股本比例不超过0.33% |
| 2025-10-30 | 三季报披露 | 2025年三季报归属净利润12.11亿元，同比增长32.66%，基本每股收益1.94元 |
| 2025-10-30 | 股东户数 | 截止2025-09-30，公司A股股东户数为60782户，较上期（2025-06-30）增加13854户，变动幅度29.52% |
| 2025-10-30 | 沪深港通 | 10-30沪股通成交总额16.59亿元 |
| 2025-10-28 | 投资互动 | 新增5条投资者互动内容。 |
| 2025-10-27 | 沪深港通 | 10-27沪股通成交总额13.18亿元 |
| 2025-10-24 | 沪深港通 | 10-24沪股通成交总额14.87亿元 |
| 2025-10-17 | 沪深港通 | 10-17沪股通成交总额13.38亿元 |
| 2025-10-16 | 沪深港通 | 10-16沪股通成交总额9.606亿元 |
| 2025-10-15 | 沪深港通 | 10-15沪股通成交总额23.55亿元 |
| 2025-10-15 | 股东减持 | 巽鑫(上海)投资有限公司于2025-09-17至2025-10-13减持626.1万股，变动数量占流通股比例1.00% |
| 2025-10-14 | 沪深港通 | 10-14沪股通成交总额19.15亿元 |
| 2025-10-13 | 沪深港通 | 10-13沪股通成交总额12.89亿元 |