| 2026-04-28 | 一季报预披露 | 于2026-04-28披露2026年一季报 |
| 2026-04-23 | 股东大会 | 于2026-04-23召开2025年年度股东大会 |
| 2026-04-22 | 大宗交易 | 2026-04-22共发生19笔大宗交易，总成交量153.3万股，总成交金额4.441亿元 |
| 2026-04-22 | 沪深港通 | 04-22沪股通成交总额12.77亿元 |
| 2026-04-21 | 大宗交易 | 2026-04-21共发生2笔大宗交易，总成交量31万股，总成交金额8942万元 |
| 2026-04-20 | 大宗交易 | 2026-04-20共发生48笔大宗交易，总成交量378.3万股，总成交金额10.93亿元 |
| 2026-04-17 | 大宗交易 | 2026-04-17共发生12笔大宗交易，总成交量33.59万股，总成交金额9843万元 |
| 2026-04-14 | 高管减持 | 何伟业(核心技术人员)减持2927股，交易均价：322.00元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-04-13 | 限售解禁 | 2026-04-13预计解禁数量77.25万股，占总股本比例0.12%，股份类型：股权激励一般股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-04-13 | 限售解禁 | 2026-04-13解禁数量77.25万股，占总股本比例0.12%，股份类型：股权激励一般股份 |
| 2026-04-10 | 股东减持 | 巽鑫(上海)投资有限公司于2026-02-11至2026-04-09减持585.9万股，变动数量占流通股比例0.93% |
| 2026-04-08 | 沪深港通 | 04-08沪股通成交总额14.73亿元 |
| 2026-04-07 | 高管增持 | 高管及相关人员于2026-04-07增持,累计6.675万股,变动途径:股权激励实施 |
| 2026-04-03 | 机构调研 | 于2026-04-01至2026-04-03接待调研，参与对象：Arena Holdings Management LLC等，参与方式：业绩说明会,现场参观 |
| 2026-03-31 | 年报预披露 | 于2026-03-31披露2025年年报 |
| 2026-03-31 | 年报披露 | 2025年年报归属净利润21.11亿元，同比增长30.69%，基本每股收益3.4元 |
| 2026-03-31 | 分红送转 | 2025年度分配10转4.9派3.5元(含税)(董事会预案) |
| 2026-03-31 | 股东户数 | 截止2025-12-31，公司A股股东户数为53625户，较上期（2025-09-30）减少7157户，变动幅度-11.77% |
| 2026-03-31 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15亿元，进度：董事会修改 |
| 2026-03-31 | 股东户数 | 截止2026-02-28，公司A股股东户数为52180户，较上期（2025-12-31）减少1445户，变动幅度-2.69% |
| 2026-03-31 | 资本运作 | 上市公司拟以发行股份及支付现金的方式购买杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方合计持有的杭州众硅64.69%股权。同时,上市公司拟向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金。 |
| 2026-03-31 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15.23亿元，进度：董事会修改 |
| 2026-03-31 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计30.76亿元，用于项目：发行股份购买杭州众硅电子科技有限公司64.69%股权、补充流动资金、高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目、支付现金对价 |
| 2026-03-31 | 股权激励 | 本激励计划采取的激励工具为限制性股票(第二类限制性股票)。股票来源为中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“公司”或“本公司”)向激励对象定向发行公司A股普通股。本激励计划拟向激励对象授予不超过820万股限制性股票,约占本激励计划草案公告时公司股本总额62,614.5307万股的1.3096%。其中首次授予不超过700万股,约占本激励计划草案公告时公司股本总额的1.1180%,首次授予部分约占本次授予权益总额的85.3659%;预留120万股,约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.1916%,预留部分约占本次授予权益总额的14.6341%。本计划限制性股票的授予价格(含预留授予)为200元/股。本激励计划首次授予的激励对象总人数不超过3061人,占公司全部职工人数的97.3291%。包括公司公告本激励计划时在本公司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止,最长不超过72个月。(董事会预案) |
| 2026-03-31 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计100.1亿元，用于项目：中微临港总部和研发中心项目、中微产业化基地建设项目、发行股份购买杭州众硅电子科技有限公司64.69%股权、补充流动资金、高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目、支付现金对价 |
| 2026-02-28 | 业绩快报 | 2025年1-12月快报披露，营业总收入123.8亿元，归属净利润21.11亿元，基本每股收益3.4元 |
| 2026-02-25 | 沪深港通 | 02-25沪股通成交总额14.49亿元 |
| 2026-02-24 | 沪深港通 | 02-24沪股通成交总额11.23亿元 |
| 2026-02-10 | 高管减持 | 尹志尧(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持4500股，交易均价：350.92元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-02-10 | 高管减持 | 尹志尧(董事长,总经理)减持4500股，变动途径：集中竞价 |