| 2029-06-18 | 限售解禁 | 2029-06-18预计解禁数量167.4万股，占总股本比例0.18%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2029-06-18 | 限售解禁 | 2029-06-18预计解禁数量167.4万股，占总股本比例0.17%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-18 | 限售解禁 | 2027-06-18预计解禁数量829.8万股，占总股本比例0.87%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-18 | 限售解禁 | 2027-06-18预计解禁数量829.8万股，占总股本比例0.88%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-01-04 | 限售解禁 | 2027-01-04预计解禁数量515.7万股，占总股本比例0.54%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-12-18 | 限售解禁 | 2026-12-18预计解禁数量51.56万股，占总股本比例0.05%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-08-20 | 中报预披露 | 于2026-08-20披露2026年中报 |
| 2026-07-22 | 沪深港通 | 07-22沪股通成交总额19.25亿元 |
| 2026-07-21 | 大宗交易 | 成交均价407.89元，溢价0.00%，成交量7000股，成交金额285.5万元 |
| 2026-07-21 | 沪深港通 | 07-21沪股通成交总额29.61亿元 |
| 2026-07-20 | 沪深港通 | 07-20沪股通成交总额34.03亿元 |
| 2026-07-17 | 资本运作 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司全资子公司中微半导体(上海)有限公司拟与上海智微私募基金管理有限公司及其他投资人共同出资发起设立上海智微凌峰创业投资合伙企业(有限合伙)(暂定名)。该基金募资规模暂定人民币30亿元(具体以实际募集情况为准),由智微资本作为管理人、普通合伙人、执行事务合伙人发起设立,智微资本拟认缴出资人民币不低于3,000万元,预计占该基金募资规模的1%。中微临港作为有限合伙人拟以自有资金认缴出资不超过人民币14.7亿元,预计占该基金募资规模不超过49%。该基金投资期内各投资人将根据基金投资要求进行实缴。该基金投资聚焦半导体、泛半导体和战略新兴领域等。在本次投资设立基金中,中微临港未对其他投资人承担保底收益、退出担保等或有义务,亦不存在其他方向中微临港承担该等义务的情形。 |
| 2026-07-17 | 沪深港通 | 07-17沪股通成交总额31.2亿元 |
| 2026-07-16 | 股东大会 | 于2026-07-16召开2026年第一次临时股东大会 |
| 2026-07-16 | 沪深港通 | 07-16沪股通成交总额28.13亿元 |
| 2026-07-15 | 沪深港通 | 07-15沪股通成交总额21.56亿元 |
| 2026-07-14 | 大宗交易 | 成交均价408.60元，溢价0.81%，成交量7100股，成交金额290.1万元 |
| 2026-07-14 | 沪深港通 | 07-14沪股通成交总额30.26亿元 |
| 2026-07-13 | 沪深港通 | 07-13沪股通成交总额29.38亿元 |
| 2026-07-11 | 股东减持 | 巽鑫(上海)投资有限公司于2026-06-23至2026-07-09减持692万股，变动数量占流通股比例0.73% |
| 2026-07-10 | 高管减持 | 尹志尧(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持3万股，交易均价：458.92元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-10 | 沪深港通 | 07-10沪股通成交总额30.16亿元 |
| 2026-07-09 | 沪深港通 | 07-09沪股通成交总额29.05亿元 |
| 2026-07-09 | 大宗交易 | 2026-07-09共发生8笔大宗交易，总成交量11.11万股，总成交金额4770万元 |
| 2026-07-09 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-07-09减持,累计1.1万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-07-08 | 大宗交易 | 2026-07-08共发生12笔大宗交易，总成交量106.3万股，总成交金额4.198亿元 |
| 2026-07-08 | 沪深港通 | 07-08沪股通成交总额26.22亿元 |
| 2026-07-08 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-07-08减持,累计1.42万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-07-07 | 高管减持 | 尹志尧(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持2900股，交易均价：424.66元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-07 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计15亿元，用于项目：补充流动资金、高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目、支付现金对价 |