| 2026-05-06 | 沪深港通 | 05-06沪股通成交总额24.87亿元 |
| 2026-05-06 | 大宗交易 | 成交均价383.30元，溢价0.00%，成交量6万股，成交金额2300万元 |
| 2026-04-30 | 股东减持 | 公司股东于2026-04-10至2026-04-29减持，累计666.3万股，占流通股本1.06% |
| 2026-04-30 | 沪深港通 | 04-30沪股通成交总额18.42亿元 |
| 2026-04-29 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15.23亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心批准 |
| 2026-04-29 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心批准 |
| 2026-04-29 | 资本运作 | 上市公司拟以发行股份及支付现金的方式购买杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方合计持有的杭州众硅64.69%股权。同时,上市公司拟向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金。 |
| 2026-04-28 | 一季报预披露 | 于2026-04-28披露2026年一季报 |
| 2026-04-28 | 一季报披露 | 2026年一季报归属净利润9.305亿元，同比增长197.20%，基本每股收益1.48元 |
| 2026-04-28 | 股东户数 | 截止2026-03-31，公司A股股东户数为51122户，较上期（2026-02-28）减少1058户，变动幅度-2.03% |
| 2026-04-28 | 大宗交易 | 成交均价331.95元，折价8.37%，成交量30万股，成交金额9959万元 |
| 2026-04-28 | 沪深港通 | 04-28沪股通成交总额13.86亿元 |
| 2026-04-27 | 沪深港通 | 04-27沪股通成交总额17.44亿元 |
| 2026-04-27 | 高管减持 | 张凯(核心技术人员)减持2000股，交易均价：349.00元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-04-25 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心受理 |
| 2026-04-25 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15.23亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心受理 |
| 2026-04-25 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计7.304亿元，用于项目：高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目 |
| 2026-04-25 | 股权激励 | 股权激励：第二类限制性股票 820万股 |
| 2026-04-25 | 资本运作 | 上市公司拟以发行股份及支付现金的方式购买杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方合计持有的杭州众硅64.69%股权。同时,上市公司拟向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金。 |
| 2026-04-24 | 资本运作 | 上市公司拟以发行股份及支付现金的方式购买杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方合计持有的杭州众硅64.69%股权。同时,上市公司拟向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金。 |
| 2026-04-24 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15.23亿元，进度：股东大会修改 |
| 2026-04-24 | 增发 | 计划进行非公开增发及配套募集，计划共募集资金不超过15亿元，进度：股东大会修改 |
| 2026-04-24 | 股权激励 | 本激励计划采取的激励工具为限制性股票(第二类限制性股票)。股票来源为中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“公司”或“本公司”)向激励对象定向发行公司A股普通股。本激励计划拟向激励对象授予不超过820万股限制性股票,约占本激励计划草案公告时公司股本总额62,614.5307万股的1.3096%。其中首次授予不超过700万股,约占本激励计划草案公告时公司股本总额的1.1180%,首次授予部分约占本次授予权益总额的85.3659%;预留120万股,约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.1916%,预留部分约占本次授予权益总额的14.6341%。本计划限制性股票的授予价格(含预留授予)为200元/股。本激励计划首次授予的激励对象总人数不超过3061人,占公司全部职工人数的97.3291%。包括公司公告本激励计划时在本公司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止,最长不超过72个月。(股东大会通过) |
| 2026-04-23 | 股东大会 | 于2026-04-23召开2025年年度股东大会 |
| 2026-04-22 | 大宗交易 | 2026-04-22共发生19笔大宗交易，总成交量153.3万股，总成交金额4.441亿元 |
| 2026-04-22 | 沪深港通 | 04-22沪股通成交总额12.77亿元 |
| 2026-04-21 | 大宗交易 | 2026-04-21共发生2笔大宗交易，总成交量31万股，总成交金额8942万元 |
| 2026-04-20 | 大宗交易 | 2026-04-20共发生48笔大宗交易，总成交量378.3万股，总成交金额10.93亿元 |
| 2026-04-17 | 大宗交易 | 2026-04-17共发生12笔大宗交易，总成交量33.59万股，总成交金额9843万元 |
| 2026-04-14 | 高管减持 | 何伟业(核心技术人员)减持2927股，交易均价：322.00元，变动途径：二级市场买卖 |