| 2029-06-18 | 限售解禁 | 2029-06-18预计解禁数量167.4万股，占总股本比例0.18%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2029-06-18 | 限售解禁 | 2029-06-18预计解禁数量167.4万股，占总股本比例0.17%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-18 | 限售解禁 | 2027-06-18预计解禁数量829.8万股，占总股本比例0.87%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-18 | 限售解禁 | 2027-06-18预计解禁数量829.8万股，占总股本比例0.88%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-01-04 | 限售解禁 | 2027-01-04预计解禁数量515.7万股，占总股本比例0.54%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-12-18 | 限售解禁 | 2026-12-18预计解禁数量51.56万股，占总股本比例0.05%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-08-20 | 中报预披露 | 于2026-08-20披露2026年中报 |
| 2026-07-16 | 股东大会 | 于2026-07-16召开2026年第一次临时股东大会 |
| 2026-07-15 | 沪深港通 | 07-15沪股通成交总额21.56亿元 |
| 2026-07-14 | 大宗交易 | 成交均价408.60元，溢价0.81%，成交量7100股，成交金额290.1万元 |
| 2026-07-14 | 沪深港通 | 07-14沪股通成交总额30.26亿元 |
| 2026-07-13 | 沪深港通 | 07-13沪股通成交总额29.38亿元 |
| 2026-07-11 | 股东减持 | 巽鑫(上海)投资有限公司于2026-06-23至2026-07-09减持692万股，变动数量占流通股比例0.73% |
| 2026-07-10 | 高管减持 | 尹志尧(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持3万股，交易均价：458.92元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-10 | 沪深港通 | 07-10沪股通成交总额30.16亿元 |
| 2026-07-09 | 沪深港通 | 07-09沪股通成交总额29.05亿元 |
| 2026-07-09 | 大宗交易 | 2026-07-09共发生8笔大宗交易，总成交量11.11万股，总成交金额4770万元 |
| 2026-07-09 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-07-09减持,累计1.1万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-07-08 | 大宗交易 | 2026-07-08共发生12笔大宗交易，总成交量106.3万股，总成交金额4.198亿元 |
| 2026-07-08 | 沪深港通 | 07-08沪股通成交总额26.22亿元 |
| 2026-07-08 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-07-08减持,累计1.42万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-07-07 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计15亿元，用于项目：补充流动资金、高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目、支付现金对价 |
| 2026-07-07 | 大宗交易 | 2026-07-07共发生9笔大宗交易，总成交量109.6万股，总成交金额4.303亿元 |
| 2026-07-07 | 沪深港通 | 07-07沪股通成交总额27.08亿元 |
| 2026-07-07 | 高管减持 | 尹志尧(董事,高级管理人员,核心技术人员)减持2900股，交易均价：424.66元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-06 | 沪深港通 | 07-06沪股通成交总额21.39亿元 |
| 2026-07-06 | 高管减持 | JIN JU(高级管理人员)减持250股，交易均价：425.00元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-07-03 | 沪深港通 | 07-03沪股通成交总额25.02亿元 |
| 2026-07-02 | 沪深港通 | 07-02沪股通成交总额38.14亿元 |
| 2026-07-01 | 限售解禁 | 2026-07-01预计解禁数量522.4万股，占总股本比例0.55%，股份类型：股权激励一般股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |