| 2029-06-18 | 限售解禁 | 2029-06-18预计解禁数量167.4万股，占总股本比例0.18%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2029-06-18 | 限售解禁 | 2029-06-18预计解禁数量167.4万股，占总股本比例0.17%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-18 | 限售解禁 | 2027-06-18预计解禁数量829.8万股，占总股本比例0.87%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-18 | 限售解禁 | 2027-06-18预计解禁数量829.8万股，占总股本比例0.88%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-01-04 | 限售解禁 | 2027-01-04预计解禁数量515.7万股，占总股本比例0.54%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-12-18 | 限售解禁 | 2026-12-18预计解禁数量51.56万股，占总股本比例0.05%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-10 | 股东减持 | 公司股东于2026-07-10至2026-09-09减持，累计1070万股，占流通股本1.13% |
| 2026-09-10 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2026-09-09 | 大宗交易 | 2026-09-09共发生8笔大宗交易，总成交量71.83万股，总成交金额2.252亿元 |
| 2026-09-08 | 大宗交易 | 2026-09-08共发生4笔大宗交易，总成交量19.63万股，总成交金额6187万元 |
| 2026-09-07 | 沪深港通 | 09-07沪股通成交总额12.27亿元 |
| 2026-09-07 | 大宗交易 | 2026-09-07共发生22笔大宗交易，总成交量103.5万股，总成交金额3.329亿元 |
| 2026-09-02 | 大宗交易 | 2026-09-02共发生4笔大宗交易，总成交量50万股，总成交金额1.631亿元 |
| 2026-08-26 | 沪深港通 | 08-26沪股通成交总额9.765亿元 |
| 2026-08-25 | 机构调研 | 于2026-08-01至2026-08-25接待调研，参与对象：ACG Management等，参与方式：分析师会议 |
| 2026-08-21 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2026-08-20 | 中报预披露 | 于2026-08-20披露2026年中报 |
| 2026-08-20 | 投资互动 | 新增5条投资者互动内容。 |
| 2026-08-20 | 资本运作 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司全资子公司中微半导体(上海)有限公司拟在临港新片区投资建设中微临港产业化基地(二期)项目,集研发、生产和销售于一体,聚焦刻蚀设备、量检测设备、薄膜沉积设备等优势产品。项目拟选址于闵联临港园区内,地块规划编号为J04-03,土地性质为工业用地,土地面积约70亩,具体以中微临港与政府土地管理部门签署的《上海市国有建设用地使用权出让合同》为准。 |
| 2026-08-20 | 中报披露 | 2026年中报归属净利润28.25亿元，同比增长300.22%，基本每股收益4.33元 |
| 2026-08-20 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计70.03亿元，用于项目：支付现金对价、中微临港总部和研发中心项目、中微产业化基地建设项目 |
| 2026-08-20 | 股东户数 | 截止2026-06-30，公司A股股东户数为89848户，较上期（2026-03-31）增加38726户，变动幅度75.75% |
| 2026-08-20 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计4.117亿元，用于项目：支付现金对价、永久补充流动资金 |
| 2026-08-19 | 沪深港通 | 08-19沪股通成交总额15.26亿元 |
| 2026-08-17 | 沪深港通 | 08-17沪股通成交总额14.69亿元 |
| 2026-08-14 | 沪深港通 | 08-14沪股通成交总额10.7亿元 |
| 2026-08-13 | 沪深港通 | 08-13沪股通成交总额13.59亿元 |
| 2026-08-12 | 沪深港通 | 08-12沪股通成交总额16.29亿元 |
| 2026-08-11 | 沪深港通 | 08-11沪股通成交总额13.35亿元 |
| 2026-08-10 | 沪深港通 | 08-10沪股通成交总额20.88亿元 |