序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	上海创业投资有限公司	12996.09	13.64	增加	4273.88
2	香港中央结算有限公司	12604.67	13.23	增加	6014.05
3	巽鑫(上海)投资有限公司	7871.70	8.26	增加	1471.47
4	国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司	2831.40	2.97	增加	649.02
5	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	1423.61	1.49	增加	487.10
6	招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金	1189.54	1.25	减少	-166.86
7	中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金	1131.26	1.19	增加	211.85
8	中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金	740.23	0.78	减少	-8.35
9	中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金	684.00	0.72	新进	684.00
10	尹志尧	599.89	0.63	新进	599.89