序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	上海国盛(集团)有限公司	54800.00	16.58	不变	0.00
2	国家集成电路产业投资基金股份有限公司	41290.58	12.49	不变	0.00
3	华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司	29899.47	9.05	不变	0.00
4	上海嘉定工业区开发(集团)有限公司	12361.56	3.74	减少	-36.00
5	海富产业投资基金管理有限公司-海富半导体创业投资(嘉兴)合伙企业(有限合伙)	10448.94	3.16	不变	0.00
6	上海新阳半导体材料股份有限公司	9644.48	2.92	不变	0.00
7	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	8700.43	2.63	增加	5329.47
8	香港中央结算有限公司	5786.71	1.75	增加	661.64
9	招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金	5621.38	1.70	新进	5621.38
10	上海新微科技集团有限公司	5246.08	1.59	不变	0.00