| 流通市值：657.51亿 | 总市值：795.52亿 | ||
| 流通股本：27.32亿 | 总股本：33.05亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 上海国盛(集团)有限公司 | 54800.00 | 16.58 | 增加 | 200.00 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 51205.65 | 15.49 | 减少 | -5494.35 |
| 3 | 国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 29899.47 | 9.05 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 12499.06 | 3.78 | 减少 | -19.30 |
| 5 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 11154.60 | 3.38 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 海富产业投资基金管理有限公司-海富半导体创业投资(嘉兴)合伙企业(有限合伙) | 10448.94 | 3.16 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 上海新微科技集团有限公司 | 8246.08 | 2.50 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 6623.66 | 2.00 | 减少 | -852.73 |
| 9 | 中建材(安徽)新材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 4662.36 | 1.41 | 不变 | 0.00 |
| 10 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 4368.95 | 1.32 | 新进 | 4368.95 |