序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	赵轶	14156.22	21.93	不变	0.00
2	钟锋浩	3172.00	4.91	不变	0.00
3	香港中央结算有限公司	2182.60	3.38	减少	-692.02
4	孙峰	1680.82	2.60	不变	0.00
5	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	1126.56	1.75	增加	289.65
6	UBS AG	1042.57	1.61	增加	666.21
7	杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙)	736.06	1.14	不变	0.00
8	中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	556.54	0.86	增加	232.49
9	中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金	538.11	0.83	新进	538.11
10	韩笑	489.43	0.76	不变	0.00