| 流通市值：93.82亿 | 总市值：175.24亿 | ||
| 流通股本：1.08亿 | 总股本：2.02亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 1927.19 | 17.79 | 减少 | -129.92 |
| 2 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 354.82 | 3.27 | 减少 | -195.65 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 2.70 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 220.59 | 2.04 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 206.77 | 1.91 | 新进 | 206.77 |
| 6 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 193.56 | 1.79 | 新进 | 193.56 |
| 7 | 中国银行股份有限公司-易方达供给改革灵活配置混合型证券投资基金 | 170.68 | 1.58 | 新进 | 170.68 |
| 8 | 中微半导体(上海)有限公司 | 165.74 | 1.53 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) | 148.47 | 1.37 | 不变 | 0.00 |