| 流通市值：86.23亿 | 总市值：161.05亿 | ||
| 流通股本：1.08亿 | 总股本：2.02亿 |
| 截至日期 | 股东户数 | 户均持股(股) | 较上期变化(%) |
| 2026-03-31 | 13826 | 14637.63 | 4.47 |
| 2025-12-31 | 13234 | 15292.42 | 6.87 |
| 2025-09-30 | 12383 | 16343.36 | -5.02 |
| 2025-06-30 | 13038 | 15522.31 | -19.95 |
| 2025-03-31 | 16288 | 12425.09 | -9.16 |
| 2024-12-31 | 17930 | 11287.22 | -49.73 |
| 2024-12-12 | 35664 | 5674.63 | 131988.89 |
| 2024-11-22 | 27 | 5621661.33 | 0.00 |
| 2024-08-20 | 27 | 5621661.33 | 0.00 |
| 2024-08-09 | 27 | 5621661.33 | 0.00 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总流通股本 持股比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 2057.11 | 18.99 | 减少 | -512.20 |
| 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业... | 550.47 | 5.08 | 减少 | -19.94 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 2.70 | 不变 | 0.00 |
| 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙)... | 260.89 | 2.41 | 不变 | 0.00 |
| 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙)... | 220.59 | 2.04 | 不变 | 0.00 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管... | 197.16 | 1.82 | 减少 | -188.01 |
| 中微半导体(上海)有限公司 | 165.74 | 1.53 | 不变 | 0.00 |
| 长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) | 148.47 | 1.37 | 新进 | 148.47 |
| 深圳市创新投资集团有限公司 | 146.35 | 1.35 | 新进 | 146.35 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总股本持股 比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 游利 | 3242.43 | 16.02 | 不变 | 0.00 |
| 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 2057.11 | 10.16 | 减少 | -512.20 |
| 连云港英瑞启技术咨询有限公司 | 1874.47 | 9.26 | 不变 | 0.00 |
| 靖江优正企业管理合伙企业(有限合伙) | 1569.28 | 7.75 | 不变 | 0.00 |
| 李欢 | 1159.00 | 5.73 | 不变 | 0.00 |
| XU ZIMING | 812.17 | 4.01 | 不变 | 0.00 |
| 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业... | 550.47 | 2.72 | 减少 | -19.94 |
| 靖江优合企业管理合伙企业(有限合伙) | 492.48 | 2.43 | 不变 | 0.00 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 1.45 | 不变 | 0.00 |
| 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙)... | 260.89 | 1.29 | 新进 | 260.89 |
| 股东名称 | 解禁数量 (股) |
上市日 | 实际解禁数量 (股) |
| 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 25693147 | 2025-12-12 | 25693147 |
| 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 5854077 | 2025-12-12 | 5854077 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 5059500 | 2025-12-12 | 5059500 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2927036 | 2025-12-12 | 2927036 |
| 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 2608882 | 2025-12-12 | 2608882 |
| 上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 2205882 | 2025-12-12 | 2205882 |
| 无锡芯创智享股权投资合伙企业(有限合伙) | 2205882 | 2025-12-12 | 2205882 |
| 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 2205882 | 2025-12-12 | 2205882 |
| 姓名 | 职务 | 变动数量 (股) |
变动后持股 数(股) |
变动原因 | 变动日期 |
| 李镝 | 监事 | 1000 | 1000 | 二级市场买卖 | 2024-12-16 |
| 李镝 | 监事 | 1000 | 1000 | 二级市场买卖 | 2024-12-16 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 总经理,董事,董事长 | 5059500 | 5059500 | 首发上市 | 2024-12-12 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 总经理,董事,董事长 | 5059500 | 5059500 | 首发上市 | 2024-12-12 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 总经理,董事,董事长 | 5059500 | 5059500 | 首发上市 | 2024-12-12 |