| 流通市值：93.82亿 | 总市值：175.24亿 | ||
| 流通股本：1.08亿 | 总股本：2.02亿 |
| 截至日期 | 股东户数 | 户均持股(股) | 较上期变化(%) |
| 2026-06-30 | 14556 | 13903.54 | 5.28 |
| 2026-03-31 | 13826 | 14637.63 | 4.47 |
| 2025-12-31 | 13234 | 15292.42 | 6.87 |
| 2025-09-30 | 12383 | 16343.36 | -5.02 |
| 2025-06-30 | 13038 | 15522.31 | -19.95 |
| 2025-03-31 | 16288 | 12425.09 | -9.16 |
| 2024-12-31 | 17930 | 11287.22 | -49.73 |
| 2024-12-12 | 35664 | 5674.63 | 131988.89 |
| 2024-11-22 | 27 | 5621661.33 | 0.00 |
| 2024-08-20 | 27 | 5621661.33 | 0.00 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总流通股本 持股比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 1927.19 | 17.79 | 减少 | -129.92 |
| 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业... | 354.82 | 3.27 | 减少 | -195.65 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 2.70 | 不变 | 0.00 |
| 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙)... | 220.59 | 2.04 | 不变 | 0.00 |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材... | 206.77 | 1.91 | 新进 | 206.77 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备... | 193.56 | 1.79 | 新进 | 193.56 |
| 中国银行股份有限公司-易方达供给改革灵活配置... | 170.68 | 1.58 | 新进 | 170.68 |
| 中微半导体(上海)有限公司 | 165.74 | 1.53 | 不变 | 0.00 |
| 长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) | 148.47 | 1.37 | 不变 | 0.00 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总股本持股 比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 游利 | 3242.43 | 16.02 | 不变 | 0.00 |
| 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 1927.19 | 9.52 | 减少 | -129.92 |
| 连云港英瑞启技术咨询有限公司 | 1874.47 | 9.26 | 不变 | 0.00 |
| 靖江优正企业管理合伙企业(有限合伙) | 1569.28 | 7.75 | 不变 | 0.00 |
| 李欢 | 1159.00 | 5.73 | 不变 | 0.00 |
| XU ZIMING | 812.17 | 4.01 | 不变 | 0.00 |
| 靖江优合企业管理合伙企业(有限合伙) | 492.48 | 2.43 | 不变 | 0.00 |
| 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业... | 354.82 | 1.75 | 减少 | -195.65 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 1.45 | 不变 | 0.00 |
| 华泰创新投资有限公司 | 252.98 | 1.25 | 新进 | 252.98 |
| 股东名称 | 解禁数量 (股) |
上市日 | 实际解禁数量 (股) |
| 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 25693147 | 2025-12-12 | 25693147 |
| 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 5854077 | 2025-12-12 | 5854077 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 5059500 | 2025-12-12 | 5059500 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2927036 | 2025-12-12 | 2927036 |
| 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 2608882 | 2025-12-12 | 2608882 |
| 上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 2205882 | 2025-12-12 | 2205882 |
| 无锡芯创智享股权投资合伙企业(有限合伙) | 2205882 | 2025-12-12 | 2205882 |
| 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 2205882 | 2025-12-12 | 2205882 |
| 姓名 | 职务 | 变动数量 (股) |
变动后持股 数(股) |
变动原因 | 变动日期 |
| 李镝 | 监事 | 1000 | 1000 | 二级市场买卖 | 2024-12-16 |
| 李镝 | 监事 | 1000 | 1000 | 二级市场买卖 | 2024-12-16 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 总经理,董事,董事长 | 5059500 | 5059500 | 首发上市 | 2024-12-12 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 总经理,董事,董事长 | 5059500 | 5059500 | 首发上市 | 2024-12-12 |
| 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 总经理,董事,董事长 | 5059500 | 5059500 | 首发上市 | 2024-12-12 |
| 基金名称 | 持股数(股) | 持股市值(元) | 占总股本比(%) | 占流通比(%) |
| 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 2067660 | 215077993.20 | 1.02 | 1.91 |
| 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 1935600 | 201341112.00 | 0.96 | 1.79 |
| 易方达供给改革混合 | 1706836 | 177545080.72 | 0.84 | 1.58 |
| 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 740675 | 77045013.50 | 0.37 | 0.68 |
| 中欧电子信息产业沪港深股票A | 644730 | 67064814.60 | 0.32 | 0.60 |
| 中欧创新未来混合(LOF) | 642272 | 66809133.44 | 0.32 | 0.59 |
| 广发中证半导体材料设备主题ETF | 503321 | 52355450.42 | 0.25 | 0.46 |
| 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 474920 | 49401178.40 | 0.23 | 0.44 |
| 诺安成长混合A | 426229 | 44336340.58 | 0.21 | 0.39 |
| 博时新收益混合A | 400000 | 41608000.00 | 0.20 | 0.37 |
| 嘉实中证半导体指数增强发起式A | 390000 | 40567800.00 | 0.19 | 0.36 |
| 华夏中证半导体材料设备主题ETF | 368941 | 38377242.82 | 0.18 | 0.34 |
| 中邮科技创新精选混合A | 300000 | 31206000.00 | 0.15 | 0.28 |
| 华夏优势增长混合 | 271360 | 28226867.20 | 0.13 | 0.25 |
| 易方达科汇灵活配置混合 | 260513 | 27098562.26 | 0.13 | 0.24 |
| 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 224141 | 23315146.82 | 0.11 | 0.21 |
| 汇添富科创板2年定开混合 | 204970 | 21320979.40 | 0.10 | 0.19 |
| 易方达新丝路混合 | 189199 | 19680479.98 | 0.09 | 0.17 |
| 易米远见价值一年定开混合A | 185114 | 19255558.28 | 0.09 | 0.17 |
| 前海开源高端装备制造混合A | 184903 | 19233610.06 | 0.09 | 0.17 |