| 流通市值：24.31亿 | 总市值：129.34亿 | ||
| 流通股本：3804.51万 | 总股本：2.02亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 游利 | 3242.43 | 21.36 | 新进 | 3242.43 |
| 2 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 2569.31 | 16.93 | 新进 | 2569.31 |
| 3 | 连云港英瑞启技术咨询有限公司 | 1874.47 | 12.35 | 新进 | 1874.47 |
| 4 | 靖江优正企业管理合伙企业(有限合伙) | 1569.28 | 10.34 | 新进 | 1569.28 |
| 5 | 李欢 | 1159.00 | 7.64 | 新进 | 1159.00 |
| 6 | XU ZIMING | 812.17 | 5.35 | 新进 | 812.17 |
| 7 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 585.41 | 3.86 | 新进 | 585.41 |
| 8 | 靖江优合企业管理合伙企业(有限合伙) | 492.48 | 3.24 | 新进 | 492.48 |
| 9 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 1.93 | 新进 | 292.70 |
| 10 | 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 260.89 | 1.72 | 新进 | 260.89 |