| 2025-03-27 | 年报预披露 | 于2025-03-27披露2024年年报 |
| 2024-12-23 | 沪深港通 | 将于2024-12-23调出沪股通可买入标的名单，状态变更为：只可卖出 |
| 2024-11-27 | 机构调研 | 于2024-11-25接待调研，参与对象：GaoTeng Global Asset Management Limited等，参与方式：特定对象调研,现场参观 |
| 2024-11-20 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2024-11-15 | 机构调研 | 于2024-11-13接待调研，参与对象：富国基金等，参与方式：特定对象调研,电话会议,一对一沟通 |
| 2024-11-15 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2024-11-01 | 股票回购 | 以不超过44元/股的价格回购34.09万~68.18万股流通A股，进度：完成实施,回购起始日：2023-10-27,回购截止日：2024-10-27；目前已累计回购95.04万股，均价为30.09元 |
| 2024-10-30 | 机构调研 | 于2024-10-28接待调研，参与对象：第五公理等，参与方式：特定对象调研,电话会议 |
| 2024-10-26 | 三季报预披露 | 于2024-10-26披露2024年三季报 |
| 2024-10-26 | 股东户数 | 截止2024-09-30，公司A股股东户数为11985户，较上期（2024-06-30）减少240户，变动幅度-1.96% |
| 2024-10-26 | 三季报披露 | 2024年三季报归属净利润2749万元，同比增长166.71%，基本每股收益0.16元 |
| 2024-09-03 | 股权激励 | 本激励计划采取的激励形式为限制性股票(第二类限制性股票)。股票来源为公司从二级市场回购和/或向激励对象定向发行的本公司A股普通股股票。本激励计划拟授予激励对象的限制性股票数量为95.0416万股,约占本激励计划草案公告日公司股本总额17,030.5736万股的0.56%。其中,首次授予限制性股票80.3800万股,约占本激励计划草案公告日公司股本总额的0.47%,占本激励计划拟授予限制性股票总数的84.57%;预留14.6616万股,约占本激励计划草案公告日公司股本总额的0.09%,预留部分占本激励计划拟授予限制性股票总数的15.43%。本激励计划首次授予的激励对象共计295人,本激励计划首次授予激励对象限制性股票的授予价格为13.82元/股。预留部分限制性股票授予价格与首次授予的限制性股票的授予价格相同。本激励计划的有效期为自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止,最长不超过48个月。(实施) |
| 2024-09-02 | 股东大会 | 于2024-09-02召开2024年第二次临时股东大会 |
| 2024-08-26 | 机构调研 | 于2024-08-01至2024-08-26接待调研，参与对象：翀云资管等，参与方式：特定对象调研,电话会议 |
| 2024-08-17 | 中报预披露 | 于2024-08-17披露2024年中报 |
| 2024-08-17 | 股东户数 | 截止2024-06-30，公司A股股东户数为12225户，较上期（2024-03-31）增加736户，变动幅度6.41% |
| 2024-08-17 | 股权激励 | 本激励计划采取的激励形式为限制性股票(第二类限制性股票)。股票来源为公司从二级市场回购和/或向激励对象定向发行的本公司A股普通股股票。本激励计划拟授予激励对象的限制性股票数量为95.0416万股,约占本激励计划草案公告日公司股本总额17,030.5736万股的0.56%。其中,首次授予限制性股票80.3800万股,约占本激励计划草案公告日公司股本总额的0.47%,占本激励计划拟授予限制性股票总数的84.57%;预留14.6616万股,约占本激励计划草案公告日公司股本总额的0.09%,预留部分占本激励计划拟授予限制性股票总数的15.43%。本激励计划首次授予的激励对象共计295人,本激励计划首次授予激励对象限制性股票的授予价格为13.82元/股。预留部分限制性股票授予价格与首次授予的限制性股票的授予价格相同。本激励计划的有效期为自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止,最长不超过48个月。(董事会预案) |
| 2024-08-17 | 中报披露 | 2024年中报归属净利润476.2万元，同比增长120.09%，基本每股收益0.03元 |
| 2024-08-17 | 项目投资 | 股票增发，新股首发募集资金，计划总投资额合计7.222亿元，用于项目：集成电路刻蚀设备用硅材料扩产项目、补充流动资金、研发中心建设项目、节余募集资金永久补充流动资金 |
| 2024-08-16 | 总经理变更 | 2024-08-16，变动前：潘连胜，变动后：袁欣 |
| 2024-08-16 | 股东大会 | 于2024-08-16召开2024年第一次临时股东大会 |
| 2024-07-24 | 业绩预告 | 预计2024年1-6月业绩扭亏，归属净利润约200万元至400万元，营业收入约1.2亿元至1.3亿元，同比上升52.22%至64.90% |
| 2024-04-26 | 股东户数 | 截止2024-03-31，公司A股股东户数为11489户，较上期（2024-02-29）增加822户，变动幅度7.71% |
| 2024-04-26 | 一季报披露 | 2024年一季报归属净利润146.2万元，同比增长112.10%，基本每股收益0.01元 |
| 2024-04-26 | 一季报预披露 | 于2024-04-26披露2024年一季报 |
| 2024-04-19 | 股东大会 | 于2024-04-19召开2023年年度股东大会 |
| 2024-04-11 | 限售解禁 | 2024-04-11解禁数量1031万股，占总股本比例6.05%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-04-11 | 限售解禁 | 2024-04-11解禁数量1031万股，占总股本比例6.05%，股份类型：定向增发机构配售股份 |
| 2024-04-11 | 限售解禁 | 2024-04-11预计解禁数量1031万股，占总股本比例6.05%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-03-30 | 年报预披露 | 于2024-03-30披露2023年年报 |