序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	更多亮照明有限公司	3360.05	19.73	不变	0.00
2	矽康半导体科技(上海)有限公司	3129.27	18.37	减少	-425.76
3	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	535.74	3.15	增加	330.59
4	温州晶励企业管理合伙企业(有限合伙)	259.37	1.52	不变	0.00
5	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	257.03	1.51	增加	61.51
6	招商银行股份有限公司-东方阿尔法科技智选混合型发起式证券投资基金	200.74	1.18	减少	-32.82
7	易方达基金管理有限公司-社保基金17042组合	194.06	1.14	新进	194.06
8	香港中央结算有限公司	175.51	1.03	新进	175.51
9	葛贵莲	170.89	1.00	新进	170.89
10	交通银行股份有限公司-工银瑞信新兴制造混合型证券投资基金	159.17	0.93	新进	159.17