| 2026-04-28 | 年报预披露 | 于2026-04-28披露2025年年报 |
| 2026-01-28 | 股东减持 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司于2026-01-23至2026-01-27减持101.5万股，变动数量占流通股比例0.36% |
| 2026-01-27 | 大宗交易 | 成交均价361.12元，折价0.82%，成交量51.02万股，成交金额1.842亿元 |
| 2026-01-26 | 股东大会 | 于2026-01-26召开2026年第一次临时股东大会 |
| 2026-01-23 | 股东减持 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司于2026-01-13至2026-01-22减持297.8万股，变动数量占流通股比例1.05% |
| 2026-01-23 | 大宗交易 | 成交均价372.88元，折价0.84%，成交量50.5万股，成交金额1.883亿元 |
| 2026-01-22 | 大宗交易 | 成交均价360.73元，折价0.90%，成交量50.2万股，成交金额1.811亿元 |
| 2026-01-21 | 大宗交易 | 成交均价365.52元，折价0.90%，成交量50.1万股，成交金额1.831亿元 |
| 2026-01-20 | 大宗交易 | 成交均价366.71元，折价0.89%，成交量42.31万股，成交金额1.552亿元 |
| 2026-01-19 | 大宗交易 | 成交均价371.67元，折价0.89%，成交量42.2万股，成交金额1.568亿元 |
| 2026-01-16 | 大宗交易 | 成交均价382.64元，折价0.79%，成交量28.25万股，成交金额1.081亿元 |
| 2026-01-15 | 限售解禁 | 2026-01-15解禁数量118.1万股，占总股本比例0.42%，股份类型：股权激励一般股份 |
| 2026-01-15 | 大宗交易 | 成交均价368.46元，折价0.96%，成交量42.4万股，成交金额1.562亿元 |
| 2026-01-15 | 限售解禁 | 2026-01-15预计解禁数量118.1万股，占总股本比例0.42%，股份类型：股权激励一般股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-01-14 | 大宗交易 | 成交均价360.29元，折价0.97%，成交量42.3万股，成交金额1.524亿元 |
| 2026-01-13 | 股东减持 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司于2025-12-25至2026-01-12减持261.2万股，变动数量占流通股比例0.93% |
| 2026-01-12 | 大宗交易 | 成交均价353.59元，折价0.90%，成交量42.11万股，成交金额1.489亿元 |
| 2026-01-09 | 大宗交易 | 成交均价356.35元，折价0.90%，成交量33万股，成交金额1.176亿元 |
| 2026-01-09 | 高管增持 | 邓浩(核心技术人员)增持5476股，交易均价：47.31元，变动途径：股权激励实施 |
| 2026-01-08 | 增减持计划 | 非控股股东中微半导体设备(上海)股份有限公司计划自2026-01-29起至2026-04-28进行减持，拟减持股数不超过365.5万股，占总股本比例不超过1.30% |
| 2026-01-07 | 大宗交易 | 成交均价375.66元，折价1.40%，成交量61.1万股，成交金额2.295亿元 |
| 2026-01-06 | 高管减持 | 杨家岭(核心技术人员)减持1000股，交易均价：372.50元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-01-06 | 大宗交易 | 成交均价354.62元，折价0.94%，成交量32万股，成交金额1.135亿元 |
| 2026-01-05 | 高管减持 | 杨家岭(核心技术人员)减持1370股，交易均价：354.58元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-01-05 | 投资互动 | 新增10条投资者互动内容。 |
| 2025-12-31 | 投资互动 | 新增3条投资者互动内容。 |
| 2025-12-30 | 大宗交易 | 成交均价330.86元，折价0.94%，成交量31万股，成交金额1.026亿元 |
| 2025-12-30 | 增发 | 计划非公开增发不超过8435万股，募集资金不超过46亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心受理 |
| 2025-12-26 | 大宗交易 | 成交均价344.31元，折价0.94%，成交量31万股，成交金额1.067亿元 |
| 2025-12-25 | 股东减持 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司于2025-12-17至2025-12-24减持183万股，变动数量占流通股比例0.65% |