| 流通市值：193.84亿 | 总市值：350.68亿 | ||
| 流通股本：1.54亿 | 总股本：2.78亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 13.46 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 678.30 | 6.59 | 减少 | -59.25 |
| 3 | 中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙) | 397.32 | 3.86 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 330.29 | 3.21 | 增加 | 104.33 |
| 5 | 沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司 | 314.49 | 3.05 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 286.57 | 2.78 | 增加 | 121.55 |
| 7 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 219.33 | 2.13 | 减少 | -11.05 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 | 202.59 | 1.97 | 增加 | 10.61 |
| 9 | 中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金 | 166.87 | 1.62 | 增加 | 25.16 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 162.29 | 1.58 | 增加 | 22.11 |