| 流通市值：182.76亿 | 总市值：330.65亿 | ||
| 流通股本：1.54亿 | 总股本：2.78亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 13.34 | 增加 | 665.39 |
| 2 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 1057.04 | 6.87 | 增加 | 378.75 |
| 3 | 中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙) | 555.15 | 3.61 | 增加 | 157.83 |
| 4 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 514.42 | 3.34 | 增加 | 184.14 |
| 5 | 沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司 | 465.44 | 3.03 | 增加 | 150.95 |
| 6 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 425.94 | 2.77 | 增加 | 139.37 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 | 351.99 | 2.29 | 增加 | 149.40 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 306.71 | 1.99 | 增加 | 87.38 |
| 9 | 中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪 | 292.96 | 1.90 | 新进 | 292.96 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金 | 246.97 | 1.61 | 增加 | 80.10 |