| 流通市值：522.39亿 | 总市值：522.39亿 | ||
| 流通股本：2.80亿 | 总股本：2.80亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 5502.67 | 19.67 | 新进 | 5502.67 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 3788.80 | 13.54 | 新进 | 3788.80 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 7.33 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 779.38 | 2.79 | 减少 | -8.02 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 | 682.77 | 2.44 | 增加 | 119.26 |
| 6 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 579.02 | 2.07 | 增加 | 19.25 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 454.88 | 1.63 | 减少 | -18.47 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 428.54 | 1.53 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 332.19 | 1.19 | 增加 | 31.98 |
| 10 | 共青城芯鑫和投资合伙企业(有限合伙) | 302.49 | 1.08 | 新进 | 302.49 |