| 流通市值：244.53亿 | 总市值：440.60亿 | ||
| 流通股本：1.55亿 | 总股本：2.80亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 13.34 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 1108.39 | 7.20 | 增加 | 51.35 |
| 3 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 654.60 | 4.26 | 增加 | 140.17 |
| 4 | 沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司 | 465.44 | 3.03 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 428.54 | 2.79 | 增加 | 2.60 |
| 6 | 香港中央结算有限公司 | 425.75 | 2.77 | 增加 | 73.76 |
| 7 | 中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙) | 421.53 | 2.74 | 减少 | -133.63 |
| 8 | 中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪 | 360.72 | 2.34 | 增加 | 67.77 |
| 9 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 320.52 | 2.08 | 增加 | 13.81 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 309.34 | 2.01 | 新进 | 309.34 |