序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	国家集成电路产业投资基金股份有限公司	4659.18	15.95	不变	0.00
2	国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)	3788.80	12.97	不变	0.00
3	中微半导体设备(上海)股份有限公司	1777.87	6.08	不变	0.00
4	香港中央结算有限公司	987.76	3.38	减少	-383.17
5	招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金	672.79	2.30	增加	336.20
6	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	627.01	2.15	新进	627.01
7	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	503.78	1.72	增加	162.50
8	中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金	448.12	1.53	增加	212.15
9	中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金	431.10	1.48	增加	133.99
10	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司	386.63	1.32	减少	-6.90