| 流通市值：1312.15亿 | 总市值：1312.15亿 | ||
| 流通股本：2.83亿 | 总股本：2.83亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 4659.18 | 16.50 | 减少 | -567.49 |
| 2 | 国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 3788.80 | 13.42 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1911.53 | 6.77 | 减少 | -140.10 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 1205.47 | 4.27 | 增加 | 442.38 |
| 5 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 583.37 | 2.07 | 减少 | -75.47 |
| 6 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 428.54 | 1.52 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 384.46 | 1.36 | 新进 | 384.46 |
| 8 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 353.86 | 1.25 | 减少 | -29.64 |
| 9 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 317.83 | 1.13 | 减少 | -299.03 |
| 10 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 259.60 | 0.92 | 新进 | 259.60 |