序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	国家集成电路产业投资基金股份有限公司	4659.18	16.48	不变	0.00
2	国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)	3788.80	13.40	不变	0.00
3	中微半导体设备(上海)股份有限公司	1777.87	6.29	减少	-133.66
4	香港中央结算有限公司	1370.94	4.85	增加	165.47
5	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司	393.54	1.39	减少	-35.00
6	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	341.29	1.21	减少	-43.17
7	招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金	336.59	1.19	减少	-246.78
8	中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金	297.12	1.05	增加	37.51
9	中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金	279.28	0.99	减少	-74.57
10	中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金	235.97	0.83	新进	235.97