| 流通市值：937.12亿 | 总市值：937.12亿 | ||
| 流通股本：2.81亿 | 总股本：2.81亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 5502.67 | 19.57 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 3788.80 | 13.48 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 7.30 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 512.05 | 1.82 | 减少 | -170.72 |
| 5 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 508.16 | 1.81 | 减少 | -70.87 |
| 6 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 490.15 | 1.74 | 减少 | -289.23 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 428.74 | 1.52 | 减少 | -26.14 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 428.54 | 1.52 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 317.57 | 1.13 | 减少 | -14.62 |
| 10 | CHIANG CHIEN | 270.36 | 0.96 | 新进 | 270.36 |