| 流通市值：211.22亿 | 总市值：382.13亿 | ||
| 流通股本：1.54亿 | 总股本：2.78亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 5502.67 | 19.77 | 增加 | 1784.65 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 3788.80 | 13.61 | 增加 | 1228.80 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 7.37 | 增加 | 665.39 |
| 4 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 1057.04 | 3.80 | 增加 | 378.75 |
| 5 | 中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙) | 555.15 | 1.99 | 增加 | 157.83 |
| 6 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 514.42 | 1.85 | 增加 | 184.14 |
| 7 | 沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司 | 465.44 | 1.67 | 增加 | 150.95 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 425.94 | 1.53 | 增加 | 139.37 |
| 9 | 香港中央结算有限公司 | 351.99 | 1.26 | 新进 | 351.99 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 306.71 | 1.10 | 增加 | 87.38 |